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分子泵的原理由是利用氣體分子和高速運動的轉子互相碰撞而將氣體分子帶出系統外。氣體分子碰撞到轉子的表面反彈后，將會在其原來的熱分子速度之外獲得一部分與轉子表面運動方向平行的額外速度。為了避免分子間的干擾而使運動速度下降，平均自由程的距離必須大于葉片之間的距離。因此，譜拓（）認為就需要一個前級泵連接在分子泵的上游以確保分子泵內粒子密度足夠的小。

inficon真空渦輪分子泵出色的表現是因為：

■氣體壓縮高，氣流量大

■前級壓力高

■整體式驅動單元和冷卻系統

■高抽速：10-2,000l/s

隔膜泵由傳動部分和隔膜缸頭兩大部分組成。通過進氣閥把氣體引入腔室然后傳遞到出氣閥排出氣體。

在此應用條件下，泵的 很終壓力可達70hPa，抽速 很高可接近10m3/h。

inficon真空隔膜泵的優勢：

■ 干泵無油

■膜片

■震動低，噪音輕

■高穩定性

■易于維護

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回顧便攜式真空計校準裝置的研發歷程，為了保證校準裝置的靈活使用，以實現在線校準的初心為牽引，真空事業部產品研發人員在前期技術積累基礎上，開展集智攻關，突破了眾多技術難關。為了滿足不同空間、不同環境的靈活使用，要保證“尺子”體積足夠小、方便攜帶。

研發人員采用模塊化、集成化設計，通過機械設計和硬件結構的不斷升級，相較于初代產品結構更加緊湊，使用更為方便；設計為箱體式結構，更好地保護裝置本體和標準器，實現長途攜帶，便于在實驗室和現場校準使用。目前，很新代該裝置體積約500mm×500mm×850mm。

▲科研人員使用便攜式真空計校準裝置

第二為了使裝置功能強，能夠校準不同種類的真空計，要保證裝置量程足夠寬、精度高。研發人員采用多種計量方法，將靜態比較法、動態比較法、動態流量法等集成在一起。由于各種方法的原理、結構均不相同，甚至可能相互干涉，研發人員不斷反復地進行迭代試驗，創新性地將它們設計組合在一起，實現寬量程、高精度的校準。

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inficon溫控儀特別適合采集快速移動物體的圖像。此外。新機型還提供出眾的低噪聲圖像質量，即便在惡劣的環境下也能實現可靠的圖像分析，例如弱光條件下的室內運動分析，新款LXT萬兆網接口相機非常適合對高分辨率、高速圖像采集質量有嚴格要求的檢測應用。

其堅固的工業設計能夠有效抵御機械載荷。并確保可靠的圖像處理，相機配有4路帶脈寬調制功能的光耦輸出，輸出功率高達120W（大48V/25A），因此無需外部控制器便可直接控制光源，相機還可以選配已獲的保護套管系統。防護等級可達IP65或IP67，無需任何外部防護罩，借助基于IEEE1588標準的時間協議（PTP）。

多路轉換器

2021年4月27日，inficon真空系列總壓測量真空計再添新型號，采用數字信號輸出，為準確并安全的數據傳輸保駕護航。20多年來，inficon真空憑借數字式總壓測量真空計為總壓測量提供全套方案，此款型號通過模塊化設計可以適應任何工業真空應用，它所配備的真空規也易于安裝，能夠進行可靠的總壓測量。

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不同測量范圍的加熱電流也有差異。因此，在使用熱偶計時，應按不同的量程確定規管的加熱電流。①10～10-1Pa量程：規管須垂直倒置，在真空度優于10-2Pa時調定加熱電流(此時熱電勢為10mV，即滿刻度)，其加熱電流可調節范圍為95～150mA。②102～10Pa量程：規管須垂直倒置，在0.1MPa時調定加熱電流，其加熱電流可調節范圍為175～300mA或以上。

熱偶計規管的結構較電阻式規管復雜一些，但p-E校準曲線受外界溫度的影響較小。 MEMS傳感器具有小型化、低成本、、易與CMOS集成電路兼容等特點。在不同類型的MEMS傳感器中， 很普遍、應用 很廣泛的是壓阻式和電容式傳感器。與壓阻式傳感器相比，電容式傳感器具有靈敏度高、溫度系數低、功耗低等優點。

MEMS電容薄膜真空計作為MEMS電容式傳感器的一種，能夠滿足深空探測、空氣動力學研究、臨近空間探索等領域對真空測量儀器測量準確度高、體積小、質量輕、功耗低的應用需求，具有廣泛的應用前景。MEMS電容薄膜真空計包含真空規管和測量電路兩個部分。其中，真空規管將真空度轉化成電容量，測量電路對電容量進行處理得到真空度的值。MEMS電容薄膜真空規管初始電容量的范圍為幾到幾十皮法，其電容變化量為幾飛法甚至更小。

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