氣體管道安裝

氣體管道（gas pipeline）包括控制閥門、過濾器、減壓裝置、壓力表、流量計、在線分析儀等，宜集中設在氣體入口室。在需要經常拆裝的管段處和管道與設備相聯接的地方，大都采用法蘭聯接。氣體經鼓風機、壓縮機、泵和鍋爐等增壓后，從管道的高壓處流向低壓處，也可利用氣體自身的壓力或重力輸送。當氣體的流量已知時，管徑的大小取決于允許的流速或允許的摩擦阻力(壓力降)。流速大時管徑小，但壓力降值增大。但泵和壓縮機等動力設備的運行能耗費用增大。此外，如果流速過大，還有可能帶來一些其他不利的因素。因此管徑應根據建設投資、運行費用和其他技術因素綜合考慮決定。

各種氣體配管配件要求

在半導體體行業線寬越做越小，其對氣體純度、顆粒度、雜質含量、露i點的要求也越來越高。

高純氮氣(PN2)：系統管道采用內壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管，閥門采用相同材質的波紋管閥或隔膜閥。

氮氣(N2)：系統管道采用內壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管或光亮退火(BA)低碳(316L)不銹鋼管，閥門采用相同材質的波紋管閥或球閥。

高純氫氣(PH2)氫氣(H2)：系統管道采用內壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管，閥門采用相同材質的波紋管閥或隔膜閥。(Ar)：系統管道采用內壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管，閥門采用相同材質的波紋管閥或隔膜閥。

氦氣(He)：系統管道采用內壁電解拋光(EP)低碳(316L不銹鋼管)閥門采用相同材質的波紋管閥或隔膜閥。

特氣系統：必要的還需做雙套管：外管酸洗鈍化(AP)處理，內管電解拋光(EP)，閥門采用相同材質的波紋管閥或隔膜閥。

對于特殊氣體來講，氣體品種多，有毒有害氣體多，原來是一機臺配一氣柜，高昂的裝備組合和維修費用大大增加了投資成本，且有的還布置在工藝間內，存在著泄漏的安全隱患。相應等級的實驗室就應該有相應的設計規范，這樣才能完i美的設計出一個利于工作而保證安全的實驗室。現在廣泛采用集中供氣系統，氣柜集中，自控系統不斷完善，其報警、噴淋、切換、吹掃多較為成熟，特氣間也與工藝間隔離，并對房間有防爆要求，工作的安全性大大提高。

不同氣體配管要求

腐蝕性能較強的氣體時，須選用耐腐蝕的不銹鋼管材作配管，否則，管材將會由于腐蝕而在內表面產生腐蝕斑，嚴重時會出現大片金屬剝離甚至穿孔，從而污染輸配的純凈氣體。

大流量的高純、高潔凈度氣體輸配管道的連接，原則上全部采用焊接，要求采用的管材，在施焊時組織不發生變化。因此，在溫度變化較大的管道和需要有自由位移的常溫管道上，需要設置膨脹節，使管道的伸縮得到補償而消除附加應力的影響。含碳過高的材料在焊接時，受焊接部位的透氣，使得管內外氣體的相互滲透，破壞輸送氣體的純度、干燥度和潔凈度，導致我們的各項努力全部失去意義。

特種氣體管道流程

其現場基本的施工程序為：施工圖紙會審﹣→施工組織編寫﹣→預制間的搭設﹣→施工機具的準備﹣→施工人員的培訓﹣→預制圖紙的編寫﹣→管道的預制﹣→管道的現場安裝﹣→系統檢測﹣→系統驗收

1.預制間的選擇

特種氣體管道的施工對環境的要求比較高，管道施工采用大批量預制然后現場 安裝的方法。按照標準，預制作業需要在潔凈度達到百級的凈化間進行，作業人員也按照百級凈化間的管理著裝。因此對于大宗特氣項目，一般都建有一個標準的預制間。

但我們在實際的施工中,大宗特氣項目很少,一般都是簡單系統和常規系統,為了節約成本和資金,在要求不是很高的情況下、一般采用在施工現場找一塊相對潔凈的房間采取一定的防塵措施就地施工,除作業人員和檢察人員外,應禁止無關人員出入。⑥管道與設備的連接段宜采用金屬管道，如為非金屬軟管，宜采用聚四氟乙烯管、聚氯i乙烯管，不得采用乳膠管。如果業主要求比較嚴格，也采用彩鋼板搭設一個簡單的預制件，房間內鋪上地板革，在屋中用潔凈塑料布封出一塊裝上兩臺層流罩，做一個簡單的凈化空間，進行管道的預制工作。

2.主要的施工機具

特種氣體管道的主要施工機具有:全自動軌道焊機(D100、MIOO等)管道切割機(GF鋸)、管子割刀、平口機、彎管器、倒角器、管口毛刺修理刮i刀、有的需要配置電源穩壓器、防止施工現場電流波動對焊接質量造成影響、臺虎鉗、配電箱、拖線盤、臺鉆、電鉆、沖擊鉆、切割機、電焊機、其他輔助工具。銅管只使用在氣體管路的末端和氣體純度不是要求太嚴格的地方（比如通風柜）。