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電源供應裝置通過一升降機構(gòu)安裝在機座上并與控制裝置電連接;所述整體測量機構(gòu)包括一安裝在機座上的驅(qū)動電機、一連接在驅(qū)動電機上的傳動軸及一安裝在傳動軸的一端的接地端;尼龍刷毛制成單片刷套,將單片刷套組合,并壓合在刷輥輥軸上,由鍵和兩端的端板固定后,對尼龍刷毛外圓周進行整體車削。所述擇點測量機構(gòu)包括一安裝在機座上的第二驅(qū)動電機、一對安裝在所述第二驅(qū)動電機上的第二傳動軸、一安裝在機座上并與所述第二傳動軸平行的滑軌及若干安裝在滑軌上的測點探針。

所述泡沫彈性層包含:至少三種具有不同體積電阻率的導電性橡膠,這三種導電性橡膠的體積電阻率小于約I X ο14 Ω Cm ;至少一種體積電阻率為約IXlO14Qcm或更大的絕緣橡膠;以及至少兩種導電性填料。

所述絕緣橡膠為選自由三元乙丙橡膠、硅橡膠和丁基橡膠構(gòu)成的組中的至少一種橡膠。根據(jù)本發(fā)明的第三方面,所述導電性橡膠和所述絕緣橡膠為氯醚橡膠、丁苯橡膠和三元乙丙橡膠,或者為氯丁橡膠、氯醚橡膠、丁苯橡膠和三元乙丙橡膠。根據(jù)本發(fā)明的第四方面,所述絕緣橡膠的含量為橡膠成分總量的約30質(zhì)量%至約40質(zhì)量%。鍍膜靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統(tǒng)在適當工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。

鎢-鈦(W-Ti)膜以及以鎢-鈦(W-Ti)為基的合金膜是高溫合金膜,具有一系列的優(yōu)良性能。鎢具有高熔點、高強度和低的熱膨脹系數(shù)等性能,W/ Ti 合金具有低的電阻系數(shù)、良好的熱穩(wěn)定性能。如各種器件都需要起到導電作用的金屬布線,例如Al 、Cu 和Ag 等已經(jīng)被廣泛的應用和研究。但是布線金屬本身易 氧化、易與周圍的環(huán)境發(fā)生反應,與介質(zhì)層的粘結(jié)性差,易擴散進入Si 與SiO2 等器件的襯底材料中,并且在較低的溫度下會形成金屬與Si 的化合物, 充當了雜質(zhì)的角色,使器件的性能大幅度下降。磁控濺射鍍膜是一種新型的物相鍍膜方式,就是用電子槍系統(tǒng)把電子發(fā)射并聚焦在被鍍的材料上,使其被濺射出來的原子遵循動量轉(zhuǎn)換原理以較高的動能脫離材料飛向基片淀積成膜。

鍍膜靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統(tǒng)在適當工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。簡單說的話,靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料,用于高能激光中,不同功率密度、不同輸出波形、不同波長的激光與不同的靶材相互作用時,會產(chǎn)生不同的殺傷破壞效應。例如:蒸發(fā)磁控濺射鍍膜是加熱蒸發(fā)鍍膜、鋁膜等。更換不同的靶材(如鋁、銅、不銹鋼、鈦、鎳靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。當通過用紫外線照射其表面或者使其暴露于臭氧中,使導電橡膠輥的表面上形成氧化膜時,導電橡膠輥表面的氧濃度變得較高。

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