VHP進行系統空間滅菌的應用

（1）土耳其V項目采用固定式VHP結合空調系統對房間進行空間滅菌。如圖1、圖2所示。

（2）VHP滅菌過程

除濕——降低空間的相對濕度，達到期望VHP滅菌所需要的濕度水平。

保持VHP發生器設備連接到風管系統的閥門關閉，系統經空調機組運行，通過轉輪除濕功能段盡量降低濕度，使空調系統及房間內的空氣達到潔凈系統所需的潔凈等級及溫濕度要求即可。即VHP 滅菌在低濕（濕度＜40%）狀態滅菌效果至佳。

調節——增加注射速率，減少循環時間，從而快速增加H2O2濃度。

關閉空調系統的新風閥、排風閥，關閉空調系統的冷熱源閥門，打開通至房間的干空氣調節閥至全開位置，打開VHP管路與空調系統連接之閥門至全開位置，同時開啟VHP發生器，加液裝置給VHP發生裝置供給液態，發生裝置將液態過轉換為氣態，然后經過送風支管（如圖3)、送風風口傳輸至各需要滅菌的潔凈空間內，對房間、物料、產品和設備等進行滅菌。在VHP和干燥空氣進入密閉潔凈空間的同時，根據通入的氣體量通過自控系統對排風閥門進行調節。此調節過程中保持整個空調系統的相對濕度大約為 50%。

室內空氣污染物主要包括可吸入式固體顆粒物、揮發性氣態污染物、懸浮微生物等。PM2.5是人們熟悉的可吸入式固體顆粒物之一；氣態污染物包括揮發性有機化合物( VOCs) 和無機有害小分子，是導致化學物質過敏癥的主因，甲醛是VOCs的一種；懸浮微生物包括病毒、有害物質等。

常見的室內空氣凈化技術有以下9種。

1、過濾（HEPA過濾網）

主要利用纖維濾料對細小微粒的攔截效應（Interception）、慣性效應（Impact）、擴散效應（Diffusion）進行機械攔截，對顆粒物（如PM2.5）的過濾效果非常明顯。

●動線規劃要點:要檢討分析人車路徑、配管系統、排氣管道、原料搬運和作業的流程等，盡量縮短動線，并避免交叉，以防止交叉污染。作業者、化學藥品、材料等動線勿集中;無塵車間四周，宜設緩沖區;制造裝置的出入，不要對作業產生大影響。

●有些空氣凈化系統的空氣，如經處理仍不能避免交叉污染時，則不能循環使用:固體物料的粉碎、稱重、配料、混合、制料、壓片、包衣、灌裝等工序;用有機溶媒精制的精制、干燥工序;生產區;病原體操作區;工藝過程中產生大量有害物質、揮發性氣體的生產工序;固體口服制劑的顆料

●節能原則:無塵車間里存在大量可以節約能源的地方，例如暖氣、通風和空調(HVAC)、工藝冷卻、壓縮空氣以及一些其他的設施。 HVAC系統消耗的電力超過了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費電力及HVAC的容量過剩，很大程度上是因為在設計和建造工廠時走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運行費用。的設計和設備需要很大的前期投入。那種'小處節約大處浪費'的所謂捷徑和削減成本，會造成工廠的運行性能降低和能耗增加。 對已建成工廠的改建通常會陷入到毫無意義的經濟漩渦當中 。