無塵室中不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

無塵室控管項目：

1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。

⒉ 能防止微塵粒子之產生。

⒊ 溫度和濕度之控制。

⒋ 壓力之調節。

⒌ 有害氣體之排除。

⒍ 結構物與隔間之氣密性。

⒎ 靜電之防制。

⒏ 電磁干擾預防。

⒐ 安全因素之考慮。

⒑ 節能之考量。

⒒照度的的調節

在電子元件制品的制造過程中，微粒子污染對成品率有重大影響，故應在過程中嚴格控制微粒子的數量，遵守“不攜入、不發生、不儲備、除去”四項基本原則以防止微粒子污染。

無塵室內防止微粒子污染基本原則：

排除/除去

在無法避免大量微粒子發生的機臺中，為了不讓無塵室內產生微粒子，因此直接做對外排氣的動作，即所謂的局部排氣。無塵室（無塵廠房）主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染，內部一般保持正壓狀態。針對排氣的對策如下：由于導入同量的外氣是必要的，但會伴隨大量的能源消耗。所以無法說是理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時，不僅僅是向無塵室外排氣，負離子檢測儀而應采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內之對策。

潔凈室（無塵室）吸塵器的主要組成：

大扒頭：當清掃地面面積較大時，使用大扒頭可有效快速的提高工作效率。

小扒頭：清掃面積相對較小時，小扒頭可方便快捷的掃除工作臺底部的灰塵和顆粒。

圓毛刷：工作范圍主要集中在工作臺臺面，清楚工作臺面細微的小顆粒

伸縮桿：增大清掃范圍領域。

軟管：機器正常工作時，吸收的小顆粒，灰塵，雜物，經過吸口有軟管傳遞到過濾系統。

集塵袋：潔凈室吸塵器的過濾系統，也是為重要的環節，收集人眼能分辨的小顆粒，對保護馬達和過濾器有重要作用。

電源開關：控制吸塵器的啟動和關閉。

過濾器：過濾器是吸塵器的第四大過濾系統，也是后一個環節，過濾器能過濾0.012um的小顆粒，過濾之后的空氣達到100級以上。