真空鍍膜設備使用步驟

1電控柜的操作

1)開水泵、氣源

2)開總電源

3)開維持泵、真空計電源，真空計檔位置V1位置，等待其值小于10后，再進入下一步操作。約需5分鐘。

4)開機械泵、予抽，開渦輪分子泵電源、啟動，真空計開關換到V2位置，抽到小于2為止，約需20分鐘。

5)觀察渦輪分子泵讀數到達250以后，關予抽，開前機和高閥繼續抽真空，抽真空到達一定程度后才能開右邊的高真空表頭，觀察真空度。真空到達2×10-3以后才能開電子電源。

PVD 鍍膜工藝起源于國外，在行業發展初期，鍍膜設備和鍍膜材料的配套以國外廠商為主。國外 PVD 鍍膜材料廠商的鍍膜材料經過與下游客戶的鍍膜設備、鍍膜工藝的長期磨合，各項性能指標與客戶的匹配性已較好，具有較強的先發優勢，因此，長期以來 PVD 鍍膜材料研制和生產主要集中于美國、日本和德國少數公司，產業集中度較高。

高純濺射靶材屬于典型的技術密集型產業，研發生產設備性強。在一定程度上，半導體工業的區域集聚性造就了高純濺射靶材生產企業的高度聚集。自誕生之日起，以美國、日本為代表的高純濺射靶材生產企業便對技術執行嚴格的保密措施，導致濺射靶材行業在范圍內呈現明顯的區域集聚特征，生產企業主要集中在美國和日本。

PVD鍍膜加工工藝流程比較長、工序繁多，發生故障的影響因素會很多。如PVD鍍膜前處理不凈、清洗不良、電解液成分失調及雜質污染、生產環境不良等。PVD鍍膜而故障的原因往往存在于以上各影響因素的一兩個細節之中。

PVD鍍膜加工

PVD鍍膜加工在影響產品質量的五大因素〔操作者、設備、材料、工藝方法及生產環境)中，人是位的。PVD鍍膜故障的發生都與操作工技能和工作責任心有關。PVD鍍膜生產管理人員對操作工指導和監督不力，這些在PVD鍍膜企業較普遍存在的狀況,PVD鍍膜使得故障在所難免。要減少PVD鍍膜生產故障，提高PVD鍍膜從業人員的技能和工作責任心是十分重要的。

PVD鍍膜加工生產故障是每個PVD鍍膜企業都會遇到的問題，排除故障是PVD鍍膜技術人員的重要職責。PVD鍍膜實踐出真知，PVD鍍膜生產的實踐性很強。要在調控PVD鍍膜生產的全過程中做到遇障不驚，PVD鍍膜途徑就是在生產實踐中摸爬滾打、堅韌實干、善于思考，不斷探索和積累等。