氦質(zhì)譜檢漏儀

充氦法

充氦法也稱負壓法 ，一個密閉的氣室連接真空泵和氦氣罐，將被檢零件裝入一個氣室，開始關(guān)閉氦氣罐閥門，機械泵把氣室先抽成真空，然后關(guān)閉真空泵閥門，打開氦氣罐閥門給氣室充氦，并靜置一段時間。被氦氣包圍的小器件上如果有漏隙，氦氣就慢慢充入小器件內(nèi)部。然后將氣室打開，取出被檢器件，用壓縮空氣吹掉其外表面可能吸附的氦。八、工件小車托盤（見設(shè)備圖紙作為驗收依據(jù)）期望大家在選購氦檢漏設(shè)備時多一份細心，少一份浮躁，不要錯過細節(jié)疑問。再把這些器件逐個(或成組) 地裝入接在檢漏儀進氣法蘭處的容器中，把此容器抽空后打開節(jié)流閥，這時原先進入被檢器件的氦又會經(jīng)過漏孔放出來，檢漏儀就會給出漏率響應(yīng)。

氦質(zhì)譜檢漏儀

充氦法

的整體檢漏就是可以用這種方法，將放入大型環(huán)模室中，利用環(huán)模設(shè)備的真空系統(tǒng)將環(huán)模抽成真空，先用輔助泵進行粗抽和預(yù)抽，在檢漏時先通過機械泵將及充氣管道抽成真空后，將氦氣充入中，壓力保持和工作的壓力一致，開啟氦質(zhì)譜檢漏儀用標(biāo)準(zhǔn)漏孔校準(zhǔn)儀器，就可以直接測量的漏率了。05Mpa（可調(diào)）2、工作節(jié)拍：＜40分鐘/件3、箱內(nèi)接口數(shù)量：大件1個工件接口。

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氦檢漏設(shè)備

密封器件的氦質(zhì)譜細檢漏技術(shù)細分為壓氦法(即背壓法) 和預(yù)充氦法兩種。D A Howl 等首先給出了壓氦法測量漏率Re 與等效標(biāo)準(zhǔn)漏率L 的關(guān)系，并指出該關(guān)系對應(yīng)的氣流狀態(tài)為分子流，文獻指出將壓氦法測量漏率與等效標(biāo)準(zhǔn)漏率關(guān)系式中個括號刪掉，就得到預(yù)充氦法的相應(yīng)關(guān)系式。無論是壓氦法還是預(yù)充氦法，在公式推導(dǎo)中都假定候檢期間環(huán)境大氣中不存在氦分壓。然而，實際上地球干潔大氣中含有少量氦氣；壓氦時通常會產(chǎn)生檢漏用氦氣對環(huán)境大氣的污染，使環(huán)境氦分壓超過地球干潔大氣中的氦分壓。因此，推導(dǎo)和分析環(huán)境大氣中氦分壓對壓氦法和預(yù)充氦法的影響是十分必要的。3、氦是惰性氣體，不與被檢件器壁起化學(xué)反應(yīng)，不會污染被檢件，使用安全。