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不同測量范圍的加熱電流也有差異。因此，在使用熱偶計時，應按不同的量程確定規管的加熱電流。①10～10-1Pa量程：規管須垂直倒置，在真空度優于10-2Pa時調定加熱電流(此時熱電勢為10mV，即滿刻度)，其加熱電流可調節范圍為95～150mA。②102～10Pa量程：規管須垂直倒置，在0.1MPa時調定加熱電流，其加熱電流可調節范圍為175～300mA或以上。

熱偶計規管的結構較電阻式規管復雜一些，但p-E校準曲線受外界溫度的影響較小。 MEMS傳感器具有小型化、低成本、、易與CMOS集成電路兼容等特點。在不同類型的MEMS傳感器中， 很普遍、應用 很廣泛的是壓阻式和電容式傳感器。與壓阻式傳感器相比，電容式傳感器具有靈敏度高、溫度系數低、功耗低等優點。

MEMS電容薄膜真空計作為MEMS電容式傳感器的一種，能夠滿足深空探測、空氣動力學研究、臨近空間探索等領域對真空測量儀器測量準確度高、體積小、質量輕、功耗低的應用需求，具有廣泛的應用前景。MEMS電容薄膜真空計包含真空規管和測量電路兩個部分。其中，真空規管將真空度轉化成電容量，測量電路對電容量進行處理得到真空度的值。MEMS電容薄膜真空規管初始電容量的范圍為幾到幾十皮法，其電容變化量為幾飛法甚至更小。

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inficon電容薄膜真空計作為inficon電容式傳感器的一種，能夠滿足深空探測、空氣動力學研究、臨近空間探索等領域對真空測量儀器測量準確度高、體積小、質量輕、功耗低的應用需求，具有廣泛的應用前景。inficon電容薄膜真空計包含真空規管和測量電路兩個部分。其中，真空規管將真空度轉化成電容量，測量電路對電容量進行處理得到真空度的值。

inficon電容薄膜真空規管初始電容量的范圍為幾到幾十皮法，其電容變化量為幾飛法甚至更小。inficon電容薄膜真空規管的敏感電容具有不同結構，包括單側電極結構、雙側電極結構以及靜電力平衡結構，不同結構的敏感電容其電容變化量不同。另外，inficon電容薄膜真空計要求測量電路功耗低、易集成，考慮到寄生電容和電磁干擾及溫度的影響，準確測量inficon電容薄膜真空規管的微小電容是一個難題。

針對不同結構的敏感電容，提出了多種微小電容測量方法。1.單側電極微小電容測量敏感電容為單側電極的inficon電容薄膜真空規管結構簡單，在inficon制造及封裝工藝下易于實現。如圖1所示，感壓薄膜上的電極與硅基底上的電極組成了一個隨真空度變化而變化的敏感電容。由于只存在單一的敏感電容，測量電路中往往需要引入一電容值與敏感電容初值相等的固值參考電容。

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單側電極inficon電容薄膜真空規管結構圖郭占社等提出了基于峰值檢測的微電容測量法，該方法可用于檢測inficon設備上的單一電容變化量。電路采用實時峰值檢測技術，只檢測待測電容的變化量。 首先正弦載波信號及微分電路對inficon器件輸出的電容量進行載波調制，然后通過減法電路得到幅值與電容變化量成比例的正弦信號， 很后用峰值檢測方法對信號進行解調，得到直流輸出。測試結果表明，該測量電路具有良好的線性，測量精度可以達到2%，靈敏度可以達到3.6V/pF。但該電路不易于小型化集成。

圖2基于峰值檢測的微電容測量電路框圖Wang等設計了一種具有寬溫度范圍的基于CMOS的微電容測量電路。 電路采用相關雙采樣方法，Vref為輸入參考電壓，時鐘信號Φ1、Φ2通過控制開關控制電容的充放電從而完成對敏感電容的測量。保持電容Ch1、Ch2用來存儲和消除低頻噪聲及運算放大器的偏置電壓。

電路采用結構簡單、性能穩定的二階Σ-Δ調制器來實現高的分辨率，其中電容C3=2C4。測量過程分為兩個階段，當信號Cal置“0”時，電路處于正常工作狀態，輸出為y；當信號Cal置“1”時，電路處于校準狀態，C1和C2位置互換，此時輸出為y′。兩種狀態下的輸出信號都包含由時鐘反饋回路、電荷注入效應、開關漏電流等產生的噪聲，兩者相減即可消除這些噪聲。

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.inficon真空計的特性？答：inficon真空計是一種肯定真空計，可以得出被測壓力的平方根。但inficon計只有測量被測汽體中汽體的分氣體壓強，不可以測量在其中可凝氣體的氣體壓強。2.導熱真空計的基本原理？根據哪些量的測量來體現導熱的轉變？

答：導熱真空計是根據低電壓汽體的導熱與工作壓力相關這一狀況來開展測量的。它可以根據熱絲電阻器的變動來體現溫度的轉變，進而體現導熱的轉變，用此類測量方式的真空計稱之為傳熱系數真空計，又稱之為皮拉尼真空計。還可以同時用熱電阻測量熱絲的氣溫改變來體現導熱的轉變，稱之為熱偶真空計。

危害導熱真空計測量低值的原因是什么？答：熱絲的發熱量除開汽體熱傳導外，還能夠順著熱絲自身向兩邊熱傳導，即固態熱傳導；還能夠以擴散的方法熱傳導，這二種換熱方法與工作壓力不相干，當工作壓力較低，汽體的傳發熱量顯著小于固態的換熱和幅射熱傳導時，就不可以體現工作壓力的變動了，即做到了測量的低值。

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