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公司基本資料信息
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真空鍍膜機(jī)主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜,包括真空離子蒸發(fā)鍍膜機(jī)、磁控濺鍍膜機(jī)射、MBE分子束外延鍍膜機(jī)和PLD激光濺射沉積鍍膜機(jī)等很多種。主要是分成蒸發(fā)和濺射兩種。在真空鍍膜設(shè)備中需要鍍膜的被成為基片,鍍的材料被成為靶材。基片與靶材同在真空腔中。蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來,并且沉降在基片表面,通過成膜過程形成薄膜。


真空鍍膜機(jī)的原理
真空主體——真空室根據(jù)加工產(chǎn)品的要求差異,大小也不一。目前應(yīng)用的真空室有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等。燃燒室由不銹鋼制成,不需要生銹、堅(jiān)固等。真空室的所有部分都設(shè)有連接閥,用于連接各種泵。
輔助抽氣系統(tǒng):排氣系統(tǒng)是真空鍍膜機(jī)的重要組成部分,主要由機(jī)械泵、增壓泵(主要引入羅茨泵)和油擴(kuò)散泵組成。排氣系統(tǒng)由“擴(kuò)散泵+機(jī)械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。機(jī)械泵首先將真空室抽入小于2.0 * 10-2 pa 的低真空狀態(tài),為擴(kuò)散泵的后續(xù)真空抽吸提供了前提,然后在擴(kuò)散泵的真空室抽吸時(shí),機(jī)械泵與油擴(kuò)散泵串聯(lián),完成抽吸作用。

真空鍍膜機(jī)主要是指需要在高真空度下進(jìn)行的鍍膜,包括真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)、真空多弧離子鍍膜機(jī)、真空中頻磁控濺射鍍膜機(jī)、多功能中頻磁控濺射多弧復(fù)合離子鍍膜機(jī)、真空光學(xué)(電子束蒸發(fā))鍍膜機(jī)等。
真空鍍膜機(jī)的操作注意事項(xiàng)
1、真空電鍍機(jī)操作員要穿著整潔,袖口扣緊(佩戴袖套),上衣下擺不能敞開,不得穿拖鞋、高跟鞋;
2、檢查電路各控制開關(guān)能否正常斷開閉合,電壓指示380±20V;
3、檢查各螺釘處連接是否牢固,電控柜、主機(jī)的連接線有無松脫現(xiàn)象、接地是否良好;所有電器的開關(guān)在零或者“關(guān)”的位置上;
