特種氣體是指那些在特定領域中應用的，對氣體有特殊要求的純氣，高純氣或由高純單質氣體配制的二元或多元混合氣。作為基礎化工材料，特種氣體隨著新產品技術的發展，應用范圍越來越廣泛。電子特種氣體種類多，應用領域廣泛。 電子特種氣體在半導體整個制程應用中成本占比僅為 5%~6%，但是由于其品種繁多，在半導體制程工藝中覆蓋廣泛，因此成為衡量半導體技術的核心產品。特種氣體是電子工業，特別是大規模集成電路制造不可缺少的材料氣體，該產業的發展應與集成電路產業發展同步或超前。特種氣體的純度朝高純的方向發展是特種氣體產業的一個必然方向，這就要求特種氣體的分離技術不斷進步以滿足純度的要求。

工業上,把常溫常壓下呈氣態的產品統稱為氣體產品.氣體產品種類繁多,大致可以分為一般工業氣體和特種氣體兩大類.一般工業氣體產銷量大,但對純度要求不高.特種氣體產銷量雖小,但根據不同的用途。特種氣體興起于60年代中期，作為基礎化工材料，主要運用于大型石油化工、半導體器件、光導纖維、激光、臨床診斷、水果催熟、食品保鮮等領域。隨著新產品技術的發展，其應用范圍也越來越廣泛。特種氣體是電子工業，特別是大規模集成電路制造不可缺少的材料氣體，該產業的發展應與集成電路產業發展同步或超前。特種氣體的純度朝高純的方向發展是特種氣體產業的一個必然方向，這就要求特種氣體的分離技術不斷進步以滿足純度的要求。

特種氣體分類：標準氣體嚴格意義上應稱為標準校正氣體，是一種高度均勻， 穩定性良好和量值準確的氣體，可分為單元標準氣體和多元標準氣體，目前標準氣基本 滿足了我國石油、化工、環保、傳感器校核等諸多領域的需求，特種標準氣體嚴格意義上應稱為標準校正氣體，是一種高度均勻，穩定性良好和量值準確的氣體，它可以是單一的純氣體或高純氣體，也可以是由多組分氣體配制而成的混合氣體。標準氣體屬于標準物質之一，故又稱為氣體標準物質。特種氣體在集成電路領域的應用：特種氣體是半導體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐材料，處于半導體產業鏈的 上游，被稱為半導體的“源”，主要應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。