用氦氣作為氦質譜檢漏氣體的原因

選擇示漏氣體(示蹤氣體）的原則是：它在空氣中及真空系統中的含量低；檢漏儀對示漏氣體的靈敏度高；它不會對人員、環境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全隱患；價格低。

質譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體，主要原因如下：

1、氦在空氣中及真空系統殘余氣體中的含量極1少（在空氣中約含5.2ppm），在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因為本底小，由某些原因引起本底的波動，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反應出來，靈敏度高。

2、氦的質量小（相對分子質量為4），易于穿過漏孔。這樣，氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大，容易發現，靈敏度高。

3、氦是惰性氣體，不與被檢件器壁起化學反應，不會污染被檢件，使用安全。

4、在氦兩側的是氫（質荷比為2）和雙電荷原子碳（質荷比為6），質荷比都與氦相差較大。這樣，它們在分析器中的偏轉半徑相差也大，容易分開，定標找氦峰時，不易受其他離子的干擾，因此就降低了對分析器制造精度的要求，易于加工。同時，分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大，使更多的氦離子通過，提高了儀器靈敏度。真空箱法氦質譜檢漏的原理與系統特點真空箱法氦質譜檢漏的充氣回收檢漏系統1．配置與氣路控制真空箱：一般為雙工位，兩個不銹鋼真空箱，開門裝置可采用液壓方式，或加配重的手動方式。

5、氦在被檢件及真空系統中不易被吸附。這樣檢出一個漏孔可以使氦信號迅速消失以便繼續進行檢漏，提高了儀器的檢漏效率。

6.氫氣有些性能（如質量小、易通過漏孔）比氦還好，然而由于氫一方面有易1爆危險，另一方面在油擴散泵中，由于油受熱裂解會產生大量的碳和氫，使氫本底極高且波動大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。

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真空箱氦檢漏基本功能

操作者把工件放在真空箱內，將工件接口與真空箱內的快速接頭進行連接，在真空箱門關閉后，系統能全自動的完成大漏檢測、工件強度檢測、抽空、充氦、檢漏、回收整個過程，生產節拍快，檢漏精度高。工藝流程編輯A1：安裝工件-----關真空箱門-----真空箱抽真空，同時工件內充高壓氮氣-----大漏及強度檢測；B1：若A1檢測不通過，則系統報警，大漏工件序號顯示-----檢測程序中止；B2：若A1檢測通過，放掉氮氣------對工件抽真空------真空箱內的氦氣本底抑零-----工件內充入氦氣-------真空模式，微漏檢測；真空箱氦檢漏真空箱氦檢漏，根據氦檢漏的基本檢漏原理，用氦氣作為示蹤氣體，在真空箱內將氦氣充入工件，然后通過氦檢漏儀能、迅速準確的判斷工件的泄露情況。C1：若B2檢測不通過，則系統報警-----循環檢，小漏工件序號顯示------檢測程序中止；C2：若B2檢測通過，真空箱內充入大氣，同時工件內氦氣回收-------真空箱開門，檢測完成。

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氦質譜檢漏儀

檢漏靈敏度高，可以檢漏到10-11Pam3/s 數量級，儀器響應快，氦分子在儀器高真空的環境中擴散的速度很高;所以氦質譜檢漏儀在許多領域里得到廣泛的應用，例如，在航空航天領域里宇宙飛船、航天飛機、火箭、、飛機等這些都要用到真空檢漏技術。在一般工業領域里原子能、發電廠、配電站、合成氨的氮肥生產廠、汽車制造業、造船工業、制冷工業、冶金工業、輸氣管道、氣罐、油罐、鍋爐快餐食品包裝等都離不開檢漏問題，同樣在裝備中也離不開檢漏，彈體、燃料儲備罐、燃料運輸管道、、特殊部件的密封性都要用到氦質譜檢漏儀，本文主要真對氦質譜檢漏儀原理及方法進行綜述。關于氦氣檢漏設備，應注意其配備了標準氦氣檢漏裝置，包括更詳細的校準報告。