排風系統有一般排風系統、有機氣體排風系統、酸性氣體排風系統、堿性氣體排風系統等，凈化車間設計時，要根據實際情況選擇。凈化工程技術的興起不過是上個世紀的事情，但今天凈化技術發揮著重要作用則是有目共睹的。隨著產品向著好的方向發展，對凈化車間的依賴度也越來越高。潔凈室的構成是由下列各項系統所組成(在所組成的系統分子中是缺一不可的)，否則將無法構成一完整且品質良好的潔凈室。

在實際施工中，凈化項目通常分為，分工和分時。 這種安排有利于各種和工作類型的管理。 但是，易于進行多塵和無塵的交叉操作，應盡可能避免這種結構布置。 如果不可避免，應該防止灰塵和有效清潔。布置工藝的流程盡可能短，減少交叉往復，、物流走向合理。要配備人員凈化室、物料凈化室，除配備產品工序要求的用室外，還應配備潔具室、洗衣間、暫存室等，每間用室相互，凈化工程的面積應在保證基本要求前提下，與生產規模相適應。10級：主要用于帶寬小于2微米的半導體工業。其空氣凈化要求僅次于1級，并且我國半導體技術也在發展之中，在未來對潔凈度的要求更加高。

具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。凈化工程技術的興起不過是上個世紀的事情，但今天凈化技術發揮著重要作用則是有目共睹的。隨著產品向著好的方向發展，對凈化車間的依賴度也越來越高。1級：塵埃易使芯片失效或者穩定性下降，當金屬塵埃落于集成電路上時，就可能造成短路。當空氣中的酸性離子落在電路上時，可能將電路腐蝕，因此凈化空調系統對微電子工業而言至關重要。此外，液晶、光纖的生產也需要1級潔凈度的要求。

潔凈室的構成是由下列各項系統所組成(在所組成的系統分子中是缺一不可的)，否則將無法構成一完整且品質良好的潔凈室。10級：主要用于帶寬小于2微米的半導體工業。其空氣凈化要求僅次于1級，并且我國半導體技術也在發展之中，在未來對潔凈度的要求更加高。100級：是常用的凈化工程，除了對空氣中的塵埃數有要求，對空氣中細菌的濃度也有明確要求。一般用于醫行業進行無菌制造，例如制造臨床用于植入人體內的物品，藥生產。醫學科學實驗也在此環境中，包括實驗動物飼養環境。