1、簡易無塵室是指在無塵車間內用防靜電網格簾或有機玻璃圍一個小空間，上方采用HEPA及FFU送風單元組成一相對無塵車間較高凈化級別的空間，簡易無塵室可配風淋室、傳遞窗等凈化設備。
2、無塵車間是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。無塵車間主要之作用在于控制產品所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,這樣的一個空間我們一凈稱之為無塵車間。
無塵車間振動控制
1、無塵車間和周圍輔助性站房內有強烈振動的設備(包括水泵等)及其通往潔凈廠房的管道，應采取積極隔振措施。
2、無塵車間內外各類振源，應測定其對潔凈廠房的綜合振動影響。如受條件限制，也可根據經驗對綜合振動影響進行評價。并應與精密設備、精儀器儀表的允許環境振動值進行比較，以確定對其采取必要的隔振措施。
3、精密設備、精密儀器儀表的隔振措施，應考慮減少發生量、保持潔凈廠房內合理的氣流組織等要求。當采用空簧隔振臺座時，應對氣源進行處理，使其達到潔凈廠房的空氣潔凈度等級。
無塵車間人員凈化和物料凈化設施
1、無塵車間內應設置人員凈化、物料凈化用室和設施，并應根據需要設置生活用室和其他用室。
2、人員凈化用室，宜包括雨具存放間、管理室、換鞋室、存外衣 室、盥洗室、潔凈工作服室和空氣吹淋室等。廁所、淋浴室、休息室等生活用室以及工作服清洗間和干燥間等其他用室，可根據需要設置。
3、無塵車間的設備和物料出入口，應根據設備和物料的性質、形 狀等待征設置物料凈化用室及其設施。物料凈化用室的布置，應防止凈化后物料在傳遞過程中被污染。