凈化工程技術(shù)的興起不過(guò)是上個(gè)世紀(jì)的事情,但今天凈化技術(shù)發(fā)揮著重要作用則是有目共睹的。隨著產(chǎn)品向著好的方向發(fā)展,對(duì)凈化車(chē)間的依賴(lài)度也越來(lái)越高。而隨著凈化技術(shù)的發(fā)展,建設(shè)凈化車(chē)間的技術(shù)含量也越來(lái)越高,非人士不能也。除了在生產(chǎn)領(lǐng)域,凈化工程技術(shù)還會(huì)逐漸應(yīng)用于家庭、公共場(chǎng)合,為人們提供更潔凈的生活空間現(xiàn)在我們國(guó)家的凈化工程已經(jīng)在朝著節(jié)能的方向發(fā)展了,除了人士以外,其他人很少知道凈化工程的耗能量特別大,時(shí)候普通寫(xiě)字樓的20倍,比美國(guó)更發(fā)達(dá)國(guó)家高出了15%。看到這些令人心驚的數(shù)字,我們國(guó)家的科學(xué)家們從節(jié)能的角度出發(fā)從根本上出出發(fā),設(shè)計(jì)出能夠節(jié)省的相關(guān)設(shè)備。凈化工程的步的關(guān)鍵是設(shè)計(jì),工程設(shè)計(jì)水平的好與壞將直接關(guān)系到整個(gè)工程之后的施工,還會(huì)影響凈化工程今后的穩(wěn)定性、可靠性、經(jīng)濟(jì)性。
排風(fēng)系統(tǒng)有一般排風(fēng)系統(tǒng)、有機(jī)氣體排風(fēng)系統(tǒng)、酸性氣體排風(fēng)系統(tǒng)、堿性氣體排風(fēng)系統(tǒng)等,凈化車(chē)間設(shè)計(jì)時(shí),要根據(jù)實(shí)際情況選擇。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間,這種車(chē)間不宜超過(guò)25度。對(duì)不同潔凈度等級(jí)的潔凈室,產(chǎn)生粉塵和有害氣體的潔凈室,被排介質(zhì)毒性大的、有易1燃易1爆氣體的崗位,應(yīng)單獨(dú)設(shè)局部排風(fēng)系統(tǒng)。
現(xiàn)在我們國(guó)家的凈化工程已經(jīng)在朝著節(jié)能的方向發(fā)展了,除了人士以外,其他人很少知道凈化工程的耗能量特別大,時(shí)候普通寫(xiě)字樓的20倍,比美國(guó)更發(fā)達(dá)國(guó)家高出了15%。看到這些令人心驚的數(shù)字,我們國(guó)家的科學(xué)家們從節(jié)能的角度出發(fā)從根本上出出發(fā),設(shè)計(jì)出能夠節(jié)省的相關(guān)設(shè)備。1級(jí):主要應(yīng)用于電子工業(yè),這是目前對(duì)凈化工程要求高的環(huán)境,集成電路要求的精度要達(dá)到亞微米。隨著微電子工業(yè)技術(shù)領(lǐng)域的突飛猛進(jìn),對(duì)潔凈室的要求越來(lái)越高。及時(shí)生產(chǎn)間內(nèi)的例子直徑僅有1微米,也會(huì)使產(chǎn)品壽命受到影響。布置工藝的流程盡可能短,減少交叉往復(fù),、物流走向合理。要配備人員凈化室、物料凈化室,除配備產(chǎn)品工序要求的用室外,還應(yīng)配備潔具室、洗衣間、暫存室等,每間用室相互,凈化工程的面積應(yīng)在保證基本要求前提下,與生產(chǎn)規(guī)模相適應(yīng)。
設(shè)計(jì)凈化系統(tǒng)組織的原則是相鄰二級(jí)過(guò)濾器的效率不能太接近,也不能相差太大。一般采用初效、中效、亞(或)三級(jí)過(guò)濾器。也可分四級(jí),增加一級(jí)過(guò)濾器。排風(fēng)系統(tǒng)有一般排風(fēng)系統(tǒng)、有機(jī)氣體排風(fēng)系統(tǒng)、酸性氣體排風(fēng)系統(tǒng)、堿性氣體排風(fēng)系統(tǒng)等,凈化車(chē)間設(shè)計(jì)時(shí),要根據(jù)實(shí)際情況選擇。凈化工程在設(shè)計(jì)時(shí),無(wú)論是新建還是重新改造的凈化車(chē)間,都一定依照國(guó)家相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范進(jìn)行。