在使用電子照相方法的打印技術中,已經漸進實現高速打印操作、高質量圖像形成、彩色像形成、以及成像裝置小型化,并且變得很普遍。色粉一直是這些改進的關鍵。為滿足上述需要,必須形成精細分配的色粉顆粒,使得色粉顆粒的直徑均一,并且使得色粉顆粒呈球形。至于形成精細分配的色粉顆粒的技術,近已經開發出直徑不超過10nm的色粉和不超過5pm的色粉。背靶的選擇對材質的要求:一般選用無氧銅和鉬靶,厚度在3mm左右導電性好:常用無氧銅,無氧銅的導熱性比紫銅好。至于使色粉呈球形的技術,已經開發出球形度99%以上的色粉。
各種純度鋁中的雜質含量及剩余電阻率如表2所示。超純金屬超純的純度也可以用剩余電阻率來測定,其值約為2×10-5。現代科學技術的發展趨勢是對金屬純度要求越來越高。因為金屬未能達到一定純度的情況下,金屬特性往往為雜質所掩蓋。經切頭去尾,再利用多次拉晶和切割尾,一直達到所要求的純度(10原子/厘米),這樣純度的鍺(相當于13)所作的探測器,其分辨率已接近于理論數值。不僅是半導體材料,其他金屬也有同樣的情況,由于雜質存在影響金屬的性能。
鎢過去用作燈泡的燈絲,由于脆性而使處理上有困難,在適當提純之后,這種缺點即可以克服(鎢絲也有摻雜及加工問題)。
金屬靶材材質分為:
鎳靶、Ni、鈦靶、Ti、鋅靶、Zn、鉻靶、Cr、鎂靶、Mg、鈮靶、Nb、錫靶、Sn、鋁靶、Al、銦靶、In、鐵靶、Fe、鋯鋁靶、ZrAl、鈦鋁靶、TiAl、鋯靶、Zr、鋁硅靶、AlSi、硅靶、Si、銅靶Cu、鉭靶T、a、鍺靶、Ge、銀靶、Ag、鈷靶、Co、金靶、Au、釓靶、Gd、鑭靶、La、釔靶、Y、鎢靶、w、不銹鋼靶、鎳鉻靶、NiCr、鉿靶、Hf、鉬靶、Mo、鐵鎳靶、FeNi、鎢靶、W等。銅與鋁相比較,銅具有更高的抗電遷移能力及更低的電阻率,能夠滿足。
背靶的選擇
對材質的要求:一般選用無氧銅和鉬靶,厚度在3mm左右
導電性好:常用無氧銅,無氧銅的導熱性比紫銅好;
強度足夠:太薄,易變形,不易真空密封。
結構要求:空心或者實心結構;
厚度適中:3mm左右,太厚,消耗部分磁強;太薄,容易變形。
銦焊綁定的流程
1.綁定前的靶材和背板表面預處理
2.將靶材和背板放置在釬焊臺上,升溫到綁定溫度
3.做靶材和背板金屬化
4.粘接靶材和背板