操作步驟

第yi步：將待處理的PDMS芯片表面處理干凈，一片PDMS放置在鏡面載盤上，另外一片放置在透明玻璃上。

第二步：將鏡面載盤放置在下zai物臺上，將透明玻璃放置在上載物臺上，并用兩測壓塊進行固定，調(diào)整位移平臺Z軸方向，使上下兩片PDMS間距適當，但不接觸。

頂旭（蘇州）微控技術(shù)有限公司是一家專注于微流控領(lǐng)域的高科技企業(yè)，我們致力于為客戶提供微流控芯片定制、表面修飾改性、微流控芯片加工設(shè)備、以及微流控儀器等全mian的微流控解決方案。

等離子鍵合機操作與使用

機器初始安裝步驟

1、連接好等離子清洗機與真空泵之間的真空管路,緊固好O型卡和鎖緊帽,做到連接處密封且不漏氣。

2、接通供電電源和真空泵電源,在此之前檢查所有按鈕必須處于復位狀態(tài),同時檢查所供電源插座的L、N、E的接線是否與機箱后的AC220V輸入插頭相一致，以免發(fā)生危險動作。

機器初始安裝步驟

1.第yi次開機抽真空時間應(yīng)持續(xù)3-5分鐘且不做其他操作，目的是去潮除濕，同時檢查是否有漏氣部位：聽漏氣聲響；看真空泵軟管接口氣泡；檢查倉門是否接觸良好，可進入主控畫面確定；檢查真空泵油位是否正常（油位觀察處2/3為正常）若無上述狀況即為正常，或觀察真空表數(shù)字是否達到100（根據(jù)地區(qū)環(huán)境不同有差異）。

2、完成上述步驟后，關(guān)閉真空泵，按下紅色按鈕，回氣使倉體恢復常壓。打開倉門，送入托載盤，做好常規(guī)使用的準備。

等離子體注意事項

1.當主機與真空泵連接好后，盡量不要移動位置，以避免真空管路松弛泄漏，導致真空度下降，真空管路的輕微泄漏會大大延長真空泵的抽取時間。

2.環(huán)境溫度過高或使用時間過長時，溫度保護控制可能會切斷射頻電源，此時應(yīng)停止處理操作，但不要關(guān)斷設(shè)備電源，因風扇的運轉(zhuǎn)會加速設(shè)備的冷卻。

3.由于等離子射頻電源的特殊性，在接入~220V電源時，一定要按所配接電源線插頭的標志正確接入：即所提供的電源與三角插頭的接線標志要準確對應(yīng)（L、N、E）,否則會造成設(shè)備不能正常工作。

4.感應(yīng)艙門沒有關(guān)好，感應(yīng)不到位，導致抽真空出不上去，確認門是否合上。