氣體管道工程流量太大調(diào)不小的原因與解決辦法？

氣體管道工程在實(shí)施時難免發(fā)生大大小小的事情，如果不加以解決會影響整個工程的進(jìn)展，甚至造成更大的損失，那么呢了解氣體管道工程流量太大調(diào)不小的原因嗎，當(dāng)遇到這種問題又有哪些解決方法呢?

產(chǎn)生此類故障的原因有三種：

第i一，是流量計后氣路有泄漏;

第二，是氣路氣阻太小;

第三，是流量控制閥件損壞。

實(shí)驗室氣體管道工程

其檢查方法如下：

首先堵住檢測器的氣路出口，觀察流量計中的轉(zhuǎn)子是否可下降到零位。如不能降為零，需要考慮對漏氣處進(jìn)行檢查，具體方法見氣路泄漏的檢查與排除;如轉(zhuǎn)子可降到零位說明系統(tǒng)不漏氣。

氣體管道工程

此時應(yīng)觀察一下流量調(diào)節(jié)閥轉(zhuǎn)動時，流量是否 有較大的變動，若有變動可適當(dāng)增加氣路氣阻;若無變動則應(yīng)懷疑閥件本身有問題，按照閥件的清洗部分處理。處理后的閥件應(yīng)再裝回原氣路中進(jìn)行控制試驗。

高純氣體管道配管

所有高純度、高潔凈的氣體均需通過管路輸送到設(shè)備用點(diǎn)(POU)，為了達(dá)到工藝對氣體的質(zhì)量要求，在氣體出口指標(biāo)一定的情況下，則更需重視配管系統(tǒng)的材料選用和施工質(zhì)量。除取決于制氣或凈化設(shè)備的精度外，在很大程度上受到管路系統(tǒng)諸多因素的影響，因此，管材的選取應(yīng)恪守相關(guān)行業(yè)原則，并在圖紙中注明管道材質(zhì)。當(dāng)管道井、管道技術(shù)層內(nèi)敷設(shè)有氫氣、氧氣和煤氣管道時，應(yīng)有換氣1~3次/h的通風(fēng)措施。

管路的材質(zhì)則依使用的需求進(jìn)行選擇，若為制程用的反應(yīng)氣體則選擇高等級的316L EP管，經(jīng)電解拋光(Electro-Polish)處理，耐腐蝕，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)約為0.3μm以下，其值遠(yuǎn)低于經(jīng)過光輝燒結(jié)(Bright Anneal)處理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微渦流，而將污染粒子帶出。316L BA管則常使用于和芯片接觸但不參與制程反應(yīng)的氣體，如GN2、CDA。管內(nèi)表面粗糙度是衡量管材質(zhì)量的標(biāo)準(zhǔn)。實(shí)驗室供氣系統(tǒng)主要包括中央集中供氣系統(tǒng)和氣瓶分散供氣系統(tǒng)兩種模式。粗糙度越低，其顆粒攜帶可能性大大降低。另一種未經(jīng)特殊處理的AP管(Annealing & Picking)，則用于不做為供氣管路的雙套外管。

各種氣體配管配件要求

在半導(dǎo)體體行業(yè)線寬越做越小，其對氣體純度、顆粒度、雜質(zhì)含量、露i點(diǎn)的要求也越來越高。

高純氮?dú)?PN2)：系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管，閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。

氮?dú)?N2)：系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管或光亮退火(BA)低碳(316L)不銹鋼管，閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或球閥。

高純氫氣(PH2)氫氣(H2)：系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管，閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。(Ar)：系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管，閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。

氦氣(He)：系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L不銹鋼管)閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。

特氣系統(tǒng)：必要的還需做雙套管：外管酸洗鈍化(AP)處理，內(nèi)管電解拋光(EP)，閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。

對于特殊氣體來講，氣體品種多，有毒有害氣體多，原來是一機(jī)臺配一氣柜，高昂的裝備組合和維修費(fèi)用大大增加了投資成本，且有的還布置在工藝間內(nèi)，存在著泄漏的安全隱患。現(xiàn)在廣泛采用集中供氣系統(tǒng)，氣柜集中，自控系統(tǒng)不斷完善，其報警、噴淋、切換、吹掃多較為成熟，特氣間也與工藝間隔離，并對房間有防爆要求，工作的安全性大大提高。5米左右，氣體管路就需要有支架，另外根據(jù)氣體管路彎曲的直徑，設(shè)置合適的支架位置。

氣體管道工程的保養(yǎng)主要有哪些？

其實(shí)主要的是接口與閥門，接口與閥門經(jīng)過氣的侵蝕在一定時間后會出現(xiàn)小故障，會容易出現(xiàn)漏氣的現(xiàn)象。每日要檢查氣壓表，如果出現(xiàn)漏氣的話氣壓表就會不穩(wěn)定或不在原來的地方等。

氣體管道屬于機(jī)電機(jī)械類物體其主要是為了輸送氣體，氣體又分普通氣體、高純氣體、特種氣體。生活當(dāng)中接解的多的就是天i然氣，煤氣，氣體運(yùn)用不好的話就會給我們帶來災(zāi)難。日常的保養(yǎng)非常重要，要做到及時檢查氣體管道的重要部位，通過重要部位來分析哪些地方管道出現(xiàn)問題。一、氣瓶間及氣瓶的安全規(guī)范（1）氣瓶應(yīng)專瓶，不能隨意改裝其它種類的氣體。出現(xiàn)問題的地方要及時修復(fù)，避免損壞越來越大造成嚴(yán)重后果。