當化學物質通過吸收能量(如熱能、光子能量等)，可以使自身的化學性質變得更加活躍甚至被裂解。當吸收的能量大于化學鍵鍵能，即可使得化學鍵斷裂，形成游離的帶有能量的原子或基團。當波段內的真空紫外線(波長范圍內184。9nm-253。7nm)，促使有機廢氣物質通過吸收該波段的光子，而該波段的光子能量大于絕大多數的化學鍵鍵能，使得有機物質得以裂解;再通過裂解產生的臭氧將其氧化成簡單、無害、穩定的物質，如H2O和CO2等。

在廢氣處理當中，通常使用多的活性炭是蜂窩活性炭。活性炭原料通過特殊工藝，制作成蜂窩狀立方體，常見孔徑從1mm-3mm，孔徑越吸附表面積越大能力也越強，同時壓力損失也會更大。相對于顆粒炭，柱狀炭，蜂窩活性炭有著壓損小，易脫附，不易堵塞的優點，目前在廢氣處理中被廣泛使用，吸附箱體作為一個框架用于放置活性炭，在廢氣治理中，用的多的樣式：立式罐吸附器，臥式罐吸附器。

如何選擇廢氣處理設備？有機廢氣凈化處理設備的處理方法對比應該優先選擇成本低、能耗少、無二次污染的廢氣凈化處理方法，充分利用廢氣的余熱，實現資源的循環利用。一般情況下，石化企業由于其生產活動的特殊性，排氣濃度高，多采用冷凝、吸收、燃燒等方法進行廢氣的凈化處理。而印刷等行業的排氣濃度低，多采用吸附、催化燃燒等方法進行廢氣凈化處理。