對(duì)檢漏方法的要求：穩(wěn)定性好，即可以在足夠長時(shí)間內(nèi)靈敏度；所用“示蹤氣體”在空氣中含量低，無毒，不腐蝕零件；氦質(zhì)譜檢漏主要領(lǐng)域：空調(diào)制冷工業(yè)——壓縮機(jī)、冷凝器、蒸發(fā)器及閥門等；真空科學(xué)與工業(yè)——泵、閥門、真空規(guī)管以及鍍膜機(jī)、真空爐等真空系統(tǒng)；對(duì)于容積較小的部件，如波紋管、各種充氣接頭和氣管焊接件等，采用氦罩法被檢工件抽空，檢漏儀調(diào)到漏率（10-11Pa.m3/s），然后對(duì)氦罩沖氦。

真空檢漏向各個(gè)加熱電極、爐體水套等通水腔體內(nèi)噴吹氦氣檢查泄漏情況。若檢漏多遍后升壓率仍不合格，可以用塑料布、膠帶對(duì)的焊口、法蘭連接處、熱電偶、電極等處進(jìn)行包裹罩封,然后向罩中噴入氮?dú)猓^察檢漏儀的漏率變化,如果緩慢上升,說明被包裹的位置存在漏點(diǎn)。極限壓力不合格，升壓率合格這種情況原因通常出現(xiàn)在粗抽閥到機(jī)械泵部分的各個(gè)連接管路的焊口及法蘭連接或真空泵本身性能。

尋求一種合適的檢漏方法，對(duì)汽輪機(jī)真空系統(tǒng)進(jìn)行行之有效的檢漏和堵漏工作，提高機(jī)組的真空嚴(yán)密性及真空已成為改善機(jī)組運(yùn)行狀況、節(jié)能降耗以及機(jī)組安全運(yùn)行的一項(xiàng)重要工作。氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是一種 應(yīng)用于國內(nèi)外對(duì)真空容器檢漏的先進(jìn)技術(shù)，氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)的高靈敏度和無損性早已成功地應(yīng)用于航天、電子、制冷等領(lǐng)域。應(yīng)用氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)對(duì)火電廠汽輪機(jī)真空系統(tǒng)進(jìn)行檢漏的方法，近幾年已在電力生產(chǎn)中逐漸推廣應(yīng)用。

氦質(zhì)譜檢漏儀使用氦氣作為示蹤氣體，氦是單原子稀有氣體分子，在空氣中的含量(5.2ppm), 無色、無味，常溫下為氣態(tài)的惰性氣體，極不活潑，既不能燃燒，也不助燃，化學(xué)性能穩(wěn)定。在檢測器件的密封性能時(shí)，遇到器件大漏時(shí)，有大量的氦氣進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，短時(shí)間內(nèi)儀器內(nèi)部氦氣難以清除，造成儀器的本底升高，儀器的檢測靈敏度降低，影響儀器的再次檢測精度。