右側(cè)部分為氣路原理

用戶可以明確地知道氣路原理與氣路基本構(gòu)成，并可通過手動(dòng)方式，控制內(nèi)部截止閥（V1-V6的開關(guān)）

INLET1 - 設(shè)備所用背景氣，一般為空氣或氮?dú)狻?/p>

INLET2 – 原料氣，用戶可通過列表選擇多種氣體種類。

初級(jí)儲(chǔ)氣罐 - 用于二次配氣時(shí)儲(chǔ)存初級(jí)配比出的一定濃度氣體，系統(tǒng)自動(dòng)維持壓力在0.5MPa以下，在使用二級(jí)配氣條件下，初級(jí)儲(chǔ)氣罐自動(dòng)維持壓力在0.45-0.5MPa上下，用以滿足二級(jí)配氣下MFC4的正常工作使用壓差。

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多點(diǎn)動(dòng)態(tài)氣體配氣儀系統(tǒng)主要功能

自動(dòng)配氣：該裝置為計(jì)算機(jī)智能配氣系統(tǒng)，所有操作功能都通過顯示屏上的觸摸屏完成，只需您在裝置屏幕上選擇輸入需要配制和被稀釋的氣體的名稱和濃度，通過按幾次觸摸屏，10多秒鐘便可配制和顯示出您所要的準(zhǔn)確穩(wěn)定的標(biāo)準(zhǔn)氣體濃度。

自動(dòng)校準(zhǔn)：根據(jù)不同氣體的性質(zhì)和實(shí)驗(yàn)環(huán)境溫度，自動(dòng)修正流量體積。

以上內(nèi)容由曉韜科技為您提供，今天我們分享的是動(dòng)態(tài)稀釋配氣儀的相關(guān)內(nèi)容，希望對(duì)有需要的朋友能有所幫助！

動(dòng)態(tài)配氣儀

可以根據(jù)客戶需求定制，進(jìn)行雙路，三路，多路等復(fù)合配氣；

采用不銹鋼質(zhì)量流量控制器、轉(zhuǎn)子流量計(jì)等組件，保證系統(tǒng)配氣精度高，質(zhì)量可靠；

大屏幕液晶屏幕、中文顯示，系統(tǒng)運(yùn)行更穩(wěn)定、操作更簡便；

流量控制采用閉環(huán)模糊控制技術(shù)，響應(yīng)速度快，流量控制準(zhǔn)確；

零氣壓力和鋼瓶氣壓力可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，保證供氣壓力滿足儀器要求；

系統(tǒng)中氣路清潔功能可保證每次配氣的精準(zhǔn)度和設(shè)備的長壽命；

無需預(yù)熱時(shí)間，開機(jī)即可配氣。

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配氣儀原理

配氣原理為質(zhì)量流量混合法。采用的質(zhì)量流量控制器，控制器稀釋氣體及組分氣體的流量。稀釋氣體可采用高純氮?dú)狻⒓儍艨諝獾取＝M分氣可以使用純氣或一定濃度的混合標(biāo)氣。通過準(zhǔn)確的設(shè)置，便可配置出 10-8 -10-2含量的各種標(biāo)準(zhǔn)氣體。

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