顯微鏡是很多行業(yè)中對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量和性能檢測(cè)的一個(gè)重要儀器，它廣泛的應(yīng)用于各個(gè)的科學(xué)研究，教學(xué)實(shí)踐，生產(chǎn)質(zhì)量檢測(cè)等領(lǐng)域。一般的顯微測(cè)試是基于人工調(diào)節(jié)顯微鏡的對(duì)焦系統(tǒng)，反復(fù)的手工操作，直到調(diào)到被測(cè)對(duì)象的正焦位置，這樣一個(gè)過(guò)程花費(fèi)時(shí)間較長(zhǎng)，效率低，并且，人員必須在顯微鏡旁邊，不能遠(yuǎn)程調(diào)結(jié)。隨著人們對(duì)顯微鏡的自動(dòng)化、智能化要求的提高，自動(dòng)對(duì)焦技術(shù)的顯得越來(lái)越重要了。尤其是有些場(chǎng)和需要人員離開(kāi)。這就需要一種能夠遠(yuǎn)程快速調(diào)焦的顯微鏡，有的產(chǎn)品用電動(dòng)Z軸調(diào)焦，電動(dòng)Z軸的缺點(diǎn)是成本高安裝復(fù)雜，速度慢。不能達(dá)到毫秒級(jí)的調(diào)焦，也不能實(shí)現(xiàn)復(fù)眼的效果，（即多焦點(diǎn)）。
其實(shí)利用在檢測(cè)芯片的過(guò)程當(dāng)中，其實(shí)這種方法是非常有效的，關(guān)于emmi分析國(guó)內(nèi)目前的技術(shù)通常已經(jīng)達(dá)到了要求，在對(duì)芯片進(jìn)行檢測(cè)過(guò)程當(dāng)中，利用微光顯微鏡它的效果通常是非常明顯的。比如說(shuō)如果說(shuō)亮點(diǎn)被遮掩的過(guò)程當(dāng)中采用的是利用境外紅波的發(fā)光，通過(guò)拋光的處理來(lái)進(jìn)行探測(cè)，這樣才能夠有效的去發(fā)現(xiàn)金屬歸沉寂的有效缺陷。