無塵室內(nèi)的氣流是左右無塵室性能的重要因素,一般無塵室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間,此氣流速度屬微風(fēng)區(qū)域,易受人、機(jī)器等的動作而干擾趨于混亂、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風(fēng)速的提高,將影響運轉(zhuǎn)成本的增加,所以應(yīng)在滿足要求的潔凈度水準(zhǔn)之時,能以適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng),以達(dá)到適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)以達(dá)到經(jīng)濟(jì)性效果。故為了控制發(fā)塵量達(dá)到小限度應(yīng)采取以下對策:減少接觸剝離發(fā)塵的動作形態(tài)。
無塵室內(nèi)的氣流是左右無塵室性能的重要因素,一般無塵室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間,此氣流速度屬微風(fēng)區(qū)域,易受人、機(jī)器等的動作而干擾趨于混亂、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風(fēng)速的提高,將影響運轉(zhuǎn)成本的增加,所以應(yīng)在滿足要求的潔凈度水準(zhǔn)之時,能以適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng),以達(dá)到適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)以達(dá)到經(jīng)濟(jì)性效果。另一方面欲達(dá)到無塵室潔凈度之穩(wěn)定效果,均一氣流之保持亦為一重要因素,均一氣流若無法保持,表示風(fēng)速有異,特別是在壁面,氣流會延著壁面發(fā)生渦流作用,此時要實現(xiàn)高潔凈度事實上很困難。垂直層流式方向要保持均一氣流必須:(a)吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異;(b)地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異。除非得到管理人員的特別許可,否則,在潔凈室里,衣服口袋只能是空的。速度過低或過高(0.2m/s,0.7m/s)均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生,而0.5m/s之速度,氣流則較均一,(21世紀(jì)80、90年代)一般無塵室,其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間。
(1)FFU用于老建筑物改造成潔凈室時,其綜合經(jīng)濟(jì)性一般往往可取。
(2)潔凈度要求嚴(yán)的潔凈室,末級過濾器滿布率時,對大的系統(tǒng)采用FFU,當(dāng)前還是不經(jīng)濟(jì)的;對小系統(tǒng)有意義作具體比較。
(3)對潔凈度要求不甚嚴(yán)的潔凈室,末級過濾器滿布率≤40%時對大系統(tǒng)綜合經(jīng)濟(jì)性往往相差不多,但對IC工廠而言FFU系統(tǒng)的靈活性是重要的,因此當(dāng)前IC工廠對過濾器滿布率≤40%時,采用FFU系統(tǒng)已經(jīng)普遍。