準分子激光首先被應用在工業上:美國IBM公司開始使用并且改進準分子激光技術，主要應用在計算機芯片的制造以及塑料物質上蝕刻準的圖形。準分子激注意事項：準分子激體為高壓充裝氣體，使用時應經減壓后方可使用。包裝的氣瓶上均有使用的年限，凡到期的氣瓶必須送往有部門進行安全檢驗，方能繼續使用。準分子激注意事項：應做到勿近火、勿沾油臘、勿爆曬、勿重拋、勿撞擊，嚴禁在氣瓶身上進行引弧或電弧，嚴禁野蠻裝卸。

準分子激分類及用途：氙是一種無色、無嗅、無味、無毒的惰性氣體，以氣態形式貯運，應用于準 分子激光器、電燈泡、窗戶隔熱、離子推進、及實驗研究等方面。準分子激光屬于冷激光，無熱效應，是方向性強、波長純度高、輸出功率大的脈沖激光，光子能量波長范圍為157－353納米，壽命為幾十毫微秒，屬于紫外光。準分子激分類及用途：氦-3是比普氦較輕的的同位素，無色、無嗅、無味，天然的氦-3含 量1.38x10-6。氦-3主要以氣態方式貯運，應用于探測器、 Spectra學、低溫物理、激光、低溫超導和實驗室研發方面。

準分子激光氣分類及用途：含氟準分子激光氣體。準分子激光氣是多組份混合氣體，其輸出波長是稀有氣體（或鹵素）結合作用的結果。準分子是稀有氣體（或鹵化物）的分子的名稱。通過含氟準分子激光氣體能產生四種波長的光波（或譜線）。一般來說，準分子激光是波長很短的紫外光，它與生物組織發生的是光化學效應而不是熱效應，因此，不會產生熱損傷。準分子激光氣體的波長短，不會穿透人的眼膜，因此對于眼球內部的組織沒有任何不良的作用。