分析國外試驗資料可以認為
⑴ 無塵室內當工作人員穿無菌服時:靜止時的發菌量一般為10-300個/min.人軀體一般活動時的發菌量為 150-1000個/min.人快步行走時的發菌量為 900-2500個/min.人
⑵ 咳嗽一次一般為 70~700個/ min.人噴嚏一次一般為 4000~62000個/ min.人
⑶ 穿平常衣服時發菌量 3300~62000個/ min.人
⑷ 無口罩發菌量:有口罩發菌量 1:7~1:14
⑸ 發菌量:發塵量 1:500~1:1000 據國內事例:
⑹ 手術中人員發菌量 878個/ min.人
所以,可知無塵室內無菌衣人員的靜態發菌量一般不超過300個/ min.人,動態發菌量一般不超過1000個/ min/人,以此作為計算依據是可行的。
在電子元件制品的制造過程中,微粒子污染對成品率有重大影響,故應在過程中嚴格控制微粒子的數量,遵守“不攜入、不發生、不儲備、除去”四項基本原則以防止微粒子污染。
無塵室內的浮游微粒子濃度,使用的過濾器即可容易達到零水平,實際的生產現場由于作業者、機器、周邊機械的發塵及基板運送時所接觸的零件材料的發塵等,在制造品周邊揚起了少許的微粒子,因而造成了元件清潔面的粒子污染。
在高等級的無塵室中從天花板到地面,完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動。這是在約10秒內將室內空氣和完全過濾空氣完全交換所計算出來的數值。在單流向型無塵室,風速測量的位置可由業主預定,一般是在濾網表面或是工作高度。同時,空氣的流向也必須要有精準的控制才行。特別要保證氣流的流通路徑暢通無阻,因為在流通路徑中有障礙物的話,容易產生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區域,使得附近已發生的微粒子無法快速排除而長時間漂流在無塵室內,而一部分會附著在周邊機器設備的表面而引起污染。
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無塵潔凈室主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為無塵潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。風機濾網機組FFU:,采用離心風機,內部凈化級別可達100-100K級。也就是說所謂無塵并非沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。