氦質譜檢漏系統是一種高靈敏度的氣體檢測儀器，主要用于探測微量的泄漏物質。其工作原理是利用高壓電離室產生的高壓離子束轟擊惰性氣體（如He）分子，使它們解離并釋放出正、負粒子或電子，形成原子簇模型——由大量的單核和雙核對許多具有一定能量的自由玻爾態的束縛粒子和游離電子組成的微觀體系結構；這些帶有一定能量的狀態在一定的空間范圍內存在著庫侖場分布不均勻而受到激發時就會發射特征X射線作為示蹤信號源來檢查工件上的氣密性和確定缺陷的位置及大小。

真空箱氦檢漏系統是一種用于檢測真空容器內氦氣泄漏的設備。它通過將真空容器內的氣體抽出并通過一系列的檢測裝置來檢測氣體的泄漏率。檢測的具體原理是將氦氣抽入檢測器中，如果容器內存在泄漏，那么氦氣就會在檢測器中被檢測到，從而報警或停止真空系統的運行。此外，該系統還可以通過檢測器的壓力變化來判斷是否存在泄漏。

氦質譜檢漏系統是一種高靈敏度的泄漏檢測設備，主要用于真空系統中微小滲漏的發現。其原理是利用氣體分子在壓力差或電磁場的作用下通過固體表面時產生的離子化現象進行質量分析，從而實現對特定氣體的定量測量和定位定位。該系統的應用范圍非常廣泛，涉及到航空航天、裝備維修保障、核工業裝置檢驗監測等多個領域，對于保證產品的可靠性和安全性具有重要意義。同時它也為民用產品如汽車制造等領域提供了可靠的解決方案。