Parylene HT，該材料具有更低的介電常數(shù)(即透波性能好)、好的穩(wěn)定性和防水、防霉、防鹽霧性能.短期耐溫可450攝氏度，長期耐溫
CVD（Chemical Vapor Deition）法：將對二和水蒸氣按一定比例混合，經(jīng) 950~1000 °C高溫?zé)峤猓玫綄Χh(huán)二體(dimer)，隨后，經(jīng)提純的二聚體在 120°C 的升華區(qū)內(nèi)升華，在惰性氣體的推動(dòng)下，二聚體進(jìn)入溫度為 660°C 的裂解區(qū)，高溫下二聚體的分子鍵斷裂，生成活性的對二活性單體(monomer)，后在惰性氣體氣的推動(dòng)下，活性單體在常溫或較低溫度下的真空沉積室里，在相應(yīng)的基體材料的表面聚合沉積為parylene 薄膜。
派瑞林是一種對二的聚合物。用的真空氣相沉積工藝制備,由活性小分子在基材表面“生長”出完全敷形的聚合物薄膜涂層,它能涂敷到各種形狀的表面,包括尖銳棱邊、裂経和內(nèi)表面。這種室溫沉積制備的0.1-100微米薄膜涂層,厚度均勻、致密無、透明無應(yīng)カ、不含助劑、不損傷工件、有優(yōu)異的電絕緣性和防護(hù)性,是當(dāng)代較有效的防潮、防霉、防鹽霧涂層材料。精細(xì)的尺寸和優(yōu)異的性能結(jié)合,使派瑞林在要求和高可靠性的當(dāng)代高新技術(shù)產(chǎn)品中得到了越來越多的應(yīng)用。
有機(jī)高分子奈米薄膜，屬高絕緣性、無、膜厚一致性的耐薄膜。其防塵、防潮、防水的耐透氣性效果，可使產(chǎn)品達(dá)到國際性防塵、防水的IP等級規(guī)范。例如，可使馬達(dá)組立、定子、轉(zhuǎn)子達(dá)到防塵、防水的IP5、5規(guī)范；對硅鋼片的耐壓及防線傷或NB電池回路基板，抗電解液腐蝕等都有其顯著的成效。
1、派瑞林真空鍍膜設(shè)備有效應(yīng)用于磁性材料領(lǐng)域，派瑞林的制備工藝和優(yōu)異性能相結(jié)合，使它能對小型超小型磁材進(jìn)行無薄弱點(diǎn)全涂敷的磁材可浸鹽酸10天以上不腐蝕，目前國際上小型或者超小型磁材，幾乎都采用派瑞林鍍膜工藝作絕緣和防護(hù)涂層。
2、派瑞林真空鍍膜設(shè)備有效應(yīng)用于印制電路組件和元器件領(lǐng)域，鍍膜材料通過派瑞林真空鍍膜設(shè)備使得活性的對二雙游離基小分子氣在印制電路組件表面沉積聚合完成。氣態(tài)的小分子能滲透到包括貼裝件下面任何一個(gè)細(xì)小縫隙的基材上沉積，形成分子量約50萬的高純聚合物。
3、派瑞林真空鍍膜設(shè)備有效應(yīng)用于微電子集成電路領(lǐng)域，派瑞林的真空氣相沉積工藝不僅和微電子集成電路制作工藝相似，而且所制備的派瑞林涂層介電常數(shù)也低，還能用微電子加工工藝進(jìn)行刻蝕制圖，進(jìn)行再金屬化，因此派瑞林（Parylene）不僅可用作防護(hù)材料，而且也能作為結(jié)構(gòu)層中的介電材料和掩膜材料使用，經(jīng)派瑞林（Parylene）涂敷過的集成電路芯片，其25um細(xì)直徑連接線，連接強(qiáng)度可提高5-10倍。