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這種情況比較復雜，因為周圍氣體介質即使稍微漏入真空腔內，也會使其真空度降低。如果漏入了腐蝕性氣體,真空設備就可能損壞。在很多情況下，真空度和真空空間的潔凈，對真空條件下進行的各種工藝過程的質量有決定性的影響。

真空器件所使用的機械密封在結構上并無特殊之處。對于上述的一種情況，通常是采用氣密性好的金屬波紋營型單端面機械密封。第二種情況則要用雙端面機械密封，若使用單端面密封，勢必存在密封端面不能獲得潤滑的問題。

密封面內圓柱面上的傷痕很可能是外面的雜物進入密封面或安裝不當造成的。密封面上的環形溝槽，多數是固體微粒沉積于密封面而引起的。

石墨環（動環）的裂紋是由于傳動件的振動，橡膠圈的漲大以及石墨環本身的內應力造成的，而結焦則是因高溫所致，這在煉油廠的高溫熱油介質中是常見的。

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2.1 O形密封圈

O形密封圈簡稱O形圈、工程機械用液壓元件及液壓系統中 常用的是橡膠O形圈。它成本低廉，密封性好，使用范圍寬。例如，工作壓力以1.333×10-5到400MPa，溫度從-60℃到200℃。

實踐證明，O形橡膠圈有如下優點：密封部位結構簡單，安裝部位緊湊，質量輕;有自封作用，往往只用一個密封件便能完成密封;密封效果好——用于靜密封時幾乎可以實現‘零泄漏’，用于往復運動密封時其密封性能不變、介質泄漏量甚少;運動阻力很小，對壓力交變的工作條件適應性好;O形密封圈尺寸及安裝溝槽(形狀、尺寸、技術要求等)已標準化，便于采購、安裝和維修。由于鍍層材料與基體材料二者線脹速率不同，所以溫度升高時，環表面會出現裂紋，司太立特合金尤為嚴重。

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需要注意的是渣漿泵機械密封的適用范圍溫度在-20℃—150℃之間;適用壓力≤ 2.4MPa;渣漿泵機械密封的安裝方法如下。

首要檢查進行安裝的機械密封的型號、規格是否無誤。

繼而檢查渣漿泵與機械密封的安裝相關聯部位的尺寸精度、幾何精度和相互關系是否符合技術要求。主要有以下幾個方面：安裝機械密封部位的軸(或軸套)的徑向跳動允差，軸(或軸套)的表面光潔度和外徑尺寸公差。密封腔和壓蓋結合定位端面對軸(或軸套)中心線垂直度允差。安裝動環密封圈的軸(或軸套)的端部，安裝機械密封的殼體孔的端部結構之倒角和光潔度。機械密封之轉軸工作時的軸向位移量。裝有機械密封的泵和機械密封備件長期不使用時，機械密封部分應加注滿N46號機械油，以防止機械密封部件生銹及內部橡膠件失效。