氦質譜檢漏設備應在施工工作完成后進行本測試，測試完成后不得進行焊縫的修磨等。若設備被浸濕或有殘余的液體都會影響毛細管的泄漏而影響測試結果的真實性。檢漏的方式是：鏈接被檢化工管道和真空泵組以及氦質譜檢漏儀，用真空泵組把管道抽真空，達到一定真空度。常用的傳統氣體管道檢漏方法，如氣泡法和肥皂法在化工廠等有害氣體的管道檢漏不實用，檢測到微漏的氦質譜檢漏儀成為了化工廠安全生產作業的保障。

檢漏技術在真空領域占有非常重要的地位，它關系到真空設備的各項真空指標，如何快速地找到漏點關系到企業的生產效率與經營成本。氦質譜檢漏儀是第二次期間快速發展起來的一種高精度檢漏儀，其靈.敏度高達10-15pa:m3/s。當今常見的氦質譜檢漏儀靈敏度在10-9 ~10-13pa.m3/s。氦質譜檢測技術以其靈敏度高、速度快、使用安全、適用范圍廣以及可以量化漏點的漏率等特點，在航空、航天、汽車和電力行業得到了廣泛的應用，與其他諸多傳統檢漏方法相比，氦質譜檢漏具有的技術優越性。采用氦質譜檢漏技術，可以實現飛機機翼整體油箱滲漏點的快速定位檢測與修補，保證機翼 翼盒的高質量、率裝配。

檢漏步驟為:若步驟1和2均未檢出漏點，就要考慮各個真空泵性能的問題，首要檢查機械泵油、羅茨泵油是否缺少，如果泵油缺少會大大降低泵的抽氣性能，其次檢查機械泵的閥片,通過向機械泵排氣口噴吹氦氣來檢測其閥片的密封性。擴散泵油或擴散泵加熱器異常也會造成極限壓不合格。還應檢查真空計是否準確以及真空系統設計是否滿足技術要求。