噴淋式兆聲噴頭

單點(diǎn)噴淋式兆聲清洗，無二次污染問題超高頻超聲波，頻率可達(dá)3MHz清洗精度高，可去除0.2微米的污漬顆粒超低的聲空化效應(yīng)，不損傷器件表面無金屬材質(zhì)接觸液體，無導(dǎo)電物質(zhì)脫落風(fēng)險(xiǎn)腐性，可耐各種酸堿溶液及。

噴淋式兆聲噴頭是將兆聲換能器嵌入到噴嘴中，以噴嘴的形式對(duì)被清洗物如晶圓等進(jìn)行清洗。它的優(yōu)勢(shì)在于可點(diǎn)對(duì)點(diǎn)的直接對(duì)被清洗物表面進(jìn)行處理，可讓聲能焦點(diǎn)直接處于被清洗物表面，然后再通過運(yùn)動(dòng)來實(shí)現(xiàn)整個(gè)二維平面的清洗。這種方式相比于槽式兆聲清洗，其兆聲轉(zhuǎn)換效率更高，并且避免了槽式兆聲清洗中聲場(chǎng)強(qiáng)度隨水槽液體深度變化而變化的問題，使被清洗物如晶圓表面獲得的聲能更均勻。另外，由于是噴嘴噴淋的方式，也不會(huì)發(fā)生像槽式清洗中水槽中的殘留的臟污對(duì)被清洗物造成二次污染的問題。

貼合式兆聲清洗

頭貼近被清洗物，清洗效率更大程度減少清洗液使用量清洗精度高，可去除0.2微米的污漬顆粒超低的聲空化效應(yīng)，不損傷器件表面石英或藍(lán)寶石耦合技術(shù)，無雜質(zhì)脫落風(fēng)險(xiǎn)腐性，可耐各種酸堿溶液及。

兆聲清洗利用兆赫茲級(jí)別的超高頻超聲波能量推動(dòng)基材表面亞微米級(jí)顆粒的去除以及化學(xué)反應(yīng)。相比于低頻超聲波空化效應(yīng)，兆聲波空化效應(yīng)可清除更小的顆粒并且大幅降低對(duì)基材的損傷。

超聲波清洗

清洗介質(zhì)：采用超聲波清洗，一般有兩類清洗劑即化學(xué)溶劑和水基清洗劑。清洗介質(zhì)的化學(xué)作用可以加速超聲波清洗效果，超聲波清洗是物理作用，兩種作用相結(jié)合，依對(duì)物件進(jìn)行充分、的清洗。功率密度：超聲波的功率密度越高，空化效果越強(qiáng)，速度越快，清洗效果越好，但對(duì)于精密的表面光潔度甚高的物件，采用長時(shí)間的高功率密度清洗會(huì)對(duì)物件表面產(chǎn)生空化、腐蝕。超聲頻率：適用于工件粗、臟、初洗，頻率高則超聲波方向性強(qiáng)，適合于精細(xì)的物件清洗。清洗高溫：一般來說，超聲波在30℃~40℃時(shí)的空化效果，清洗劑也不是溫度越高，作用越顯著，有可能會(huì)高溫失效，通常超聲波在超過85°C時(shí)，清洗效果已變差。所以實(shí)際應(yīng)用超聲波清洗時(shí)，采用50°C~70°C的工作溫度。

超聲波清洗新發(fā)展

隨著應(yīng)用范圍的擴(kuò)大,超聲波清洗技術(shù)也有了新的發(fā)展。傳統(tǒng)的超聲波清洗設(shè)備由于自動(dòng)化程度不高而難以保證零件清洗的均勻性,近年來逐漸出現(xiàn)了自動(dòng)化程度高、靈活性強(qiáng)的自動(dòng)化超聲波清洗設(shè)備。不但實(shí)現(xiàn)了超聲波清洗的自動(dòng)化控制和批量作業(yè),還穩(wěn)定了清洗工藝、提高了清洗質(zhì)量。這類超聲波清洗設(shè)備將超聲波清洗和化學(xué)清洗、漂洗、脫水、烘干等工藝結(jié)合,因而有非常高的清洗效率。在傳動(dòng)、烘干、清洗方面通常使用PLC控制,實(shí)現(xiàn)了清洗過程的全自動(dòng)化。