噴淋式兆聲噴頭

單點噴淋式兆聲清洗，無二次污染問題超高頻超聲波，頻率可達3MHz清洗精度高，可去除0.2微米的污漬顆粒超低的聲空化效應，不損傷器件表面無金屬材質接觸液體，無導電物質脫落風險腐性，可耐各種酸堿溶液及。

噴淋式兆聲噴頭是將兆聲換能器嵌入到噴嘴中，以噴嘴的形式對被清洗物如晶圓等進行清洗。它的優勢在于可點對點的直接對被清洗物表面進行處理，可讓聲能焦點直接處于被清洗物表面，然后再通過運動來實現整個二維平面的清洗。這種方式相比于槽式兆聲清洗，其兆聲轉換效率更高，并且避免了槽式兆聲清洗中聲場強度隨水槽液體深度變化而變化的問題，使被清洗物如晶圓表面獲得的聲能更均勻。另外，由于是噴嘴噴淋的方式，也不會發生像槽式清洗中水槽中的殘留的臟污對被清洗物造成二次污染的問題。

貼合式兆聲清洗

頭貼近被清洗物，清洗效率更大程度減少清洗液使用量清洗精度高，可去除0.2微米的污漬顆粒超低的聲空化效應，不損傷器件表面石英或藍寶石耦合技術，無雜質脫落風險腐性，可耐各種酸堿溶液及。

兆聲清洗利用兆赫茲級別的超高頻超聲波能量推動基材表面亞微米級顆粒的去除以及化學反應。相比于低頻超聲波空化效應，兆聲波空化效應可清除更小的顆粒并且大幅降低對基材的損傷。

超聲波清洗

清洗介質：采用超聲波清洗，一般有兩類清洗劑即化學溶劑和水基清洗劑。清洗介質的化學作用可以加速超聲波清洗效果，超聲波清洗是物理作用，兩種作用相結合，依對物件進行充分、的清洗。功率密度：超聲波的功率密度越高，空化效果越強，速度越快，清洗效果越好，但對于精密的表面光潔度甚高的物件，采用長時間的高功率密度清洗會對物件表面產生空化、腐蝕。超聲頻率：適用于工件粗、臟、初洗，頻率高則超聲波方向性強，適合于精細的物件清洗。清洗高溫：一般來說，超聲波在30℃~40℃時的空化效果，清洗劑也不是溫度越高，作用越顯著，有可能會高溫失效，通常超聲波在超過85°C時，清洗效果已變差。所以實際應用超聲波清洗時，采用50°C~70°C的工作溫度。

超聲波清洗新發展

隨著應用范圍的擴大,超聲波清洗技術也有了新的發展。傳統的超聲波清洗設備由于自動化程度不高而難以保證零件清洗的均勻性,近年來逐漸出現了自動化程度高、靈活性強的自動化超聲波清洗設備。不但實現了超聲波清洗的自動化控制和批量作業,還穩定了清洗工藝、提高了清洗質量。這類超聲波清洗設備將超聲波清洗和化學清洗、漂洗、脫水、烘干等工藝結合,因而有非常高的清洗效率。在傳動、烘干、清洗方面通常使用PLC控制,實現了清洗過程的全自動化。