真空鍍膜機(jī)具有真空度高、抽速快、基片裝卸方便的特點(diǎn)，配備 E 型電子束蒸發(fā)源和電阻蒸發(fā)源。PID自動(dòng)控溫，具有成膜均勻、放氣量小和溫度均勻的優(yōu)點(diǎn)。E 型電子束蒸發(fā)、電阻熱蒸發(fā)源組件（可選配）、樣品掩膜擋板系統(tǒng)、真空獲得系統(tǒng)及真空測量系統(tǒng)、分子泵真空機(jī)組或低溫泵真空機(jī)組、旋轉(zhuǎn)基片加熱臺、工作氣路、樣品傳遞機(jī)構(gòu)，膜厚控制系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、恒溫冷卻水系統(tǒng)等組成。可選件：膜厚監(jiān)控儀，恒溫制冷水箱。

真空鍍膜機(jī)器設(shè)備的主泵形式分成二種，各自為有油真空泵和無油超濾裝置，這二種系統(tǒng)軟件的工作中形式全是不一樣的；有機(jī)油超濾裝置基本上是以油擴(kuò)散泵為主泵，前面泵選用真空泵或是羅茨真空泵。我們知道，油擴(kuò)散泵的工作壓力方向較為大，與此同時(shí)抽真空速度十分的高，可以做到每秒鐘十幾萬升。

無油超濾裝置是應(yīng)用分子泵和低溫泵做為主泵的，其特性關(guān)鍵集中化在可以持續(xù)很多抽真空，能夠得到清理無油的極高真空泵。

鍍膜機(jī)常見故障及處理方法：

一、檢測不到掩膜夾具翻轉(zhuǎn)信號：

1、檢查翻面信號源位置

2、將翻面輸入信號人工短接，使用翻面檢測功能，計(jì)算機(jī)能檢測到信號時(shí)，證明問題在翻面控制開關(guān)上，根據(jù)情況做相應(yīng)處理。檢測不到信號首先檢查線路，然后更換控制卡。

二、掩膜夾具翻轉(zhuǎn)不穩(wěn)定:

1、檢查翻板的初始位置是否符合時(shí)機(jī)

2、檢測翻面控制開關(guān)工作是否穩(wěn)定，可用指針萬用表跟蹤監(jiān)測。

3、檢查翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)動(dòng)作是否靈活可靠

4、檢查翻面信號次數(shù)設(shè)置

5、檢查旋轉(zhuǎn)工作臺是否與鐘罩內(nèi)壁有摩擦現(xiàn)象

6、檢測旋轉(zhuǎn)工作臺在轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)的穩(wěn)定性