以含有氯原子的表橡膠為代表的橡膠組分，用于導(dǎo)電橡膠輥，以允許導(dǎo)電橡膠輥呈離子導(dǎo)電性。簡單說的話，靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標(biāo)材料，不同功率密度、不同輸出波形、不同波長的激光與不同的靶材相互作用時(shí)，會產(chǎn)生不同的殺傷破壞效應(yīng)。該情況下，含有氯原子的橡膠組分具有較高的表面自由能。因此，含有氯原子的橡膠組分容易粘附于色粉和用于色粉的添加劑上。當(dāng)含有氯原子的橡膠組分與離子導(dǎo)電的單體聚合時(shí)，導(dǎo)電輥具有較高的表面自由能并且容易弄濕。因此粘附于導(dǎo)電橡膠輥的色粉量變得較高。當(dāng)通過用紫外線照射其表面或者使其暴露于臭氧中，使導(dǎo)電橡膠輥的表面上形成氧化膜時(shí)，導(dǎo)電橡膠輥表面的氧濃度變得較高。

在儲存技術(shù)方面，高密度、大容量硬盤的發(fā)展，需要大量的巨磁阻薄膜材料，CoF~Cu多層復(fù)合膜是如今應(yīng)用廣泛的巨磁阻薄膜結(jié)構(gòu)。另外一般的電阻測量儀器受溫度和濕度的影響較大，無法測量，導(dǎo)致不能得出的數(shù)值，從而不能保證廣品的品質(zhì)。磁光盤需要的TbFeCo合金靶材還在進(jìn)一步發(fā)展，用它制造的磁光盤具有存儲容量大，壽命長，可反復(fù)無接觸擦寫的特點(diǎn)。如今開發(fā)出來的磁光盤，具有TbFeCo/Ta和TbFeCo/Al的層復(fù)合膜結(jié)構(gòu)，TbFeCo/AI結(jié)構(gòu)的Kerr旋轉(zhuǎn)角達(dá)到58，而TbFeCofFa則可以接近0.8。經(jīng)過研究發(fā)現(xiàn)，低磁導(dǎo)率的靶材高交流局部放電電壓l抗電強(qiáng)度。

鎢-鈦（W-Ti）膜以及以鎢-鈦（W-Ti）為基的合金膜是高溫合金膜，具有一系列的優(yōu)良性能。磁控濺射鍍膜是一種新型的物相鍍膜方式,就是用電子槍系統(tǒng)把電子發(fā)射并聚焦在被鍍的材料上，使其被濺射出來的原子遵循動量轉(zhuǎn)換原理以較高的動能脫離材料飛向基片淀積成膜。鎢具有高熔點(diǎn)、高強(qiáng)度和低的熱膨脹系數(shù)等性能，W/ Ti 合金具有低的電阻系數(shù)、良好的熱穩(wěn)定性能。如各種器件都需要起到導(dǎo)電作用的金屬布線，例如Al 、Cu 和Ag 等已經(jīng)被廣泛的應(yīng)用和研究。但是布線金屬本身易 氧化、易與周圍的環(huán)境發(fā)生反應(yīng),與介質(zhì)層的粘結(jié)性差,易擴(kuò)散進(jìn)入Si 與SiO2 等器件的襯底材料中，并且在較低的溫度下會形成金屬與Si 的化合物, 充當(dāng)了雜質(zhì)的角色,使器件的性能大幅度下降。