靜電電引起的靜電,引起人的不安全和恐懼感,并可造成二次傷害(例如人因受而摔倒,由摔倒又致傷);2.靜電放電引起的放電電流,可導(dǎo)致諸如半導(dǎo)體元件等破壞和誤動(dòng)作,例如將50塊P- MOS電路放在塑料袋內(nèi),搖晃數(shù)次后,與非門柵極嚴(yán)重?fù)舸┱哂?jì)39塊,失效率競(jìng)達(dá)78%,這是因?yàn)榘雽?dǎo)體器件對(duì)靜電放電十分靈敏;5米/秒(60英尺/分鐘至100英尺/分鐘)的范圍里,以便使中斷的單向流能快速恢復(fù),充分稀釋障礙物周圍紊流區(qū)的污染。
管理區(qū)(包括辦公、值班、管理和休息等)4、 設(shè)備區(qū)(包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房)材料1. 凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻 角、門、窗框等一般采用zhuan用氧化鋁型材制造。2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。4.進(jìn)入凈化區(qū)前施工用機(jī)具、工具、材料及附件等必須在室外清潔并擦拭干凈,不得有油、銹及灰塵等,并且只能從規(guī)定的出入口進(jìn)出。
潔凈室凈化工程設(shè)計(jì)應(yīng)確保安全生產(chǎn)和滿足環(huán)境保護(hù)的要求。潔凈室凈化工程的稍置和各項(xiàng)設(shè)施的設(shè)計(jì)均必須符合消防、防火的要求,應(yīng)按國(guó)家的有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范進(jìn)行設(shè)計(jì),由于潔凈室凈化工程內(nèi)的平面和空間扣置持殊、走道曲折等特點(diǎn),在進(jìn)行各項(xiàng)技術(shù)設(shè)施的系統(tǒng)設(shè)計(jì)、設(shè)備配置和材質(zhì)選樣時(shí),加特別注意按規(guī)定選用符合要求的系統(tǒng)、沒(méi)備和材質(zhì)。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。