為滿足納米級電子束曝光系統的要求，系統設計了一個納米圖形發生器和數模轉換電路，并采用機控制。機通過圖形發生器和數模轉換電路去驅動等儀器的掃描線圈，從而使電子束偏轉并控制束閘的通斷。通過可以對標準樣片進行圖像采集以及掃描場的校正。配合精密定位的工件臺，還可以實現曝光場的拼接和套刻。利用配套軟件也可以新建或導入多種通用格式的曝光圖形。
曝照所需電子束是由既有的產生的電子束(離子束)提供。
電子射出后，受數千乃至數萬伏特之加速電壓驅動沿顯微鏡中軸向下移動，并受中軸周圍磁透鏡作用形成聚焦電子束而對樣本表面進行掃描與圖案刻畫。掃描方式可分為循序掃描與矢量掃描。
掃描過程中，電子束的開啟與阻斷是由電子束阻斷器所控制。電子束阻斷器通常安裝在磁透鏡組上方，其功效為產生一大偏轉磁場使電子束完全偏離中軸而無法到達樣本。
(三) 阻劑(光阻)
阻劑是轉移電子束曝照圖案的媒介。阻劑通常是以薄膜形式均勻覆蓋于基材表面。高能電子束的照射會改變阻劑材料的特性，再經過顯影后，曝照(負阻劑)或未曝照(正阻劑)的區域將會留在基材表面，顯出所設計的微影圖案，而后續的制程將可進一步將此圖案轉移到阻劑以下的基材中。
緩速器的作用
電渦流緩速器是一種汽車制動輔助裝置,俗稱“電剎”,它是國際流行的第三制動系統。該產品既可以使汽車在坡道行駛時,方便地實行緩速和恒速行駛,也可以在高速公路或路況較差的情況下,及時輕松地進行緩速,因此可極大地提高汽車行駛時的安全性與舒適性。電渦流緩速器在國外已有五十年的使用歷史,并且有關交通法規都強調汽車上要安裝電渦流緩速器。
電渦流緩速器的工作原理就是利用一個閉環導體在磁場中運動產生渦流,而磁場將會阻止其運動.電渦流緩速器由執行機構和控制部分組成。
(1)執行機構包括定子和轉子。定子由線圈和支架組成,定子繞組由4組8個線圈組成,定子安裝在變速箱后端蓋上。定子兩端各有一個轉子,一端轉子與變速箱輸出軸法蘭連接,另一端轉子與傳動軸連接。
(2)控制部分包括手控開關、腳控開關、繼電器盒、ABS聯接器等。
①手控開關在較長距離減速及下長坡時使用,安裝在駕駛員附近,便于駕駛員操作。開關分4個檔,分別扳至1、2、3、4檔,通過控制1、2、3、4個繼電器吸和,依次增加進行工作的線圈數量,從而使制動力矩逐級增加。
②腳控開關安裝在底盤上,用一根氣管與制動總泵前輪制動氣室連接。腳控開關是為控制緩速器自動工作的,受制動氣壓的逐漸升高,依次接通4個壓力傳感器,使制動力矩逐級拉大。行車制動起作用時,定子繞組線圈全部進入工作狀態。