感光片在制作過程中主要程序如下：建立潛像于感光片上-曝光；變潛像為可見影像-顯影；穩(wěn)定可見影像一定影。

潛像形成的原理

無論是在照相機、照排機或掃描儀上，當經(jīng)過正確的曝光量下曝光后，總是在感光片上形成一些所需的圖像。由于它很不容易被人的眼睛察覺到，這種影像，稱作為潛像。潛像如何形成的呢？當細絲長到一定長度時，便向橫向增長，致使整個顆粒都被還原子成金屬銀。原來在感光片的制作過程中，感光乳劑中除鹵素銀晶體外，還均勻分布著銀原子和硫化銀分子，它們在感光片的表面形成許多感光中心

曝光時有受光部分和未受光部分，而顯影液則作用于整個感光層表面，然而為什么只有顯影中心處的鹵素銀被還原成銀呢？它在顯影液中的綜合反應式為：保存劑的作用是防止配制顯影液時或貯存過程中顯影液氧化。這是因為在顯影液中加有化鉀，它在溶液中電離出Br-。顯影中心是銀原子，它不可能吸附BI-，只有Ag+的地方才會吸附它。因此，除了顯影中心外，都被Br-所包圍，而形成負電屏障。這樣，顯影離子便從顯影中心的缺口處進入晶體，而使鹵素銀還原出銀。

顯影狀態(tài)的維持

A、有無過濾器，保證顯影液的干凈；

B。有無自動保膠及保護膠的自動清洗系統(tǒng)；

C、有無防氧化蓋（金屬蓋散熱快，塑料蓋散熱慢）

測試步驟

設置曝光程序，生成測試圖形陣列。要求每一列對應不同DOSE，每一行對應不同F(xiàn)OCUS.曝光生產(chǎn)測試版，并進行顯影、蝕刻和去膠處理。測量測試版上陣列中每個點的CD.分析測量數(shù)據(jù)。

曝光顯影整裝線

1. 噴涂前清洗+等離子表面處理

雖然在前段已經(jīng)過清洗，但噴涂前蓋板表面的潔凈度至關(guān)重要，故需再次進行清洗和表面處理。下圖這款設備采用托盤裝載方式清洗（5-6寸可裝載15片同時加工）

2. 等離子表面處理

等離子處理技術(shù)是通過對蓋板進行一定的物理化學改性，提高表面附著力，這里主要為了提升油墨的附著力，還能去除表面有機物，達到基材表面徹底潔凈。