東莞市清溪利成感光五金廠本廠主要做曝光顯影工藝,平面、圓弧面、凹凸面、噴砂1氧2氧陽極、五金絲印.五金腐蝕等產(chǎn)品加工,有多年經(jīng)驗(yàn),有需要以上的工藝歡迎您的到來參觀和洽談,可免費(fèi)打。
顯影的主要過程如下:對(duì)準(zhǔn)曝光一曝光后烘一顯影一堅(jiān)膜一顯影檢測(cè)。
顯影( develop)
PEB之后,硅片冷卻至239℃左右,與顯影液溫度相同,并與顯影液發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。
一般來說,顯影過程中被曝光和未曝光部分的光刻膠都會(huì)與光刻膠發(fā)生反應(yīng),因此,為得到良好的顯影效果,可以通過改變顯影液成分,顯影溫度,顯影方式,與顯影步驟等因素來加快曝光與為曝光部分光刻膠的溶解速率。
若對(duì)顯影的要求不高,可以直接將硅片放入顯影液槽中浸泡然后取出。對(duì)于大部分對(duì)顯影要求較高的生產(chǎn)及實(shí)驗(yàn)過程,通常使用的勻膠顯影機(jī)來自動(dòng)控制顯影過程,如圖3回x回 e
東莞市清溪利成感光五金廠本廠主要做曝光顯影工藝,平面、圓弧面、凹凸面、噴砂1氧2氧陽極、五金絲印.五金腐蝕等產(chǎn)品加工,有多年經(jīng)驗(yàn),有需要以上的工藝歡迎您的到來參觀和洽談,可免費(fèi)打。
曝光顯影完成后進(jìn)行檢測(cè),合格品就可以進(jìn)入蝕刻加工了。蝕刻加工的產(chǎn)品大都為精密零件,因此每一步的工藝設(shè)置與檢測(cè)都需要嚴(yán)格控制,才能保證蝕刻完成后的加工質(zhì)量。
東莞市清溪利成感光五金廠本廠主要做曝光顯影工藝,平面、圓弧面、凹凸面、噴砂1氧2氧陽極、五金絲印.五金腐蝕等產(chǎn)品加工,有多年經(jīng)驗(yàn),有需要以上的工藝歡迎您的到來參觀和洽談,可免費(fèi)打。
曝光顯影 曝光也叫感光,是將菲林放在已經(jīng)噴了感光油的產(chǎn)品上面,主要的目的是通過曝光讓菲林上的圖案在材料上對(duì)應(yīng)成型,感光(曝光)過程中要特別注意夾具一定要放好,菲林不能歪斜,否則產(chǎn)品圖案就會(huì)出現(xiàn)歪斜現(xiàn)象,從而產(chǎn)生不良品,而菲林也要定期檢查,不能出現(xiàn)折疊現(xiàn)象,否則也會(huì)出現(xiàn)不良品。現(xiàn)在市售的電解蝕刻機(jī)都是手動(dòng)噴淋式的,并且都是以鹽水為蝕刻溶液,功率有大小。