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翁源手機曝光顯影生產公司服務至上 利成感光五金廠tpimage

   日期:2024-03-16     作者:利成感光    瀏覽:41    評論:0    
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顯影的主要過程如下:對準曝光一曝光后烘一顯影一堅膜一顯影檢測。

對準曝光

對準曝光階段是光刻工藝的重要階段,使用的掩膜曝光機,即光刻機,集中了光刻工藝中重要的工藝技術。

對準曝光過程通常在黃光實驗室中進行。

使用的光刻機根據不同的曝光原理,分為接觸式曝光,接近式曝光和投影式曝光。也可按自動化程度高低

手動

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堅膜( HB Hardbake)

堅膜也稱為硬烘,是對顯影后的光刻膠加熱烘干,促使光刻膠與硅片粘著牢固,并且沒有發生形變。堅膜階段的溫度一般控制在100-120℃之間,若加熱溫度過高會使得光刻膠軟化,如圖4所示,并導致后期去膠困難。

一般使用熱板或烘箱來控制溫度變化。

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顯影設備和圖像形成裝置的制造方法

在混合顯影系統中,難以長期通過穩定的調色劑層來涂敷顯影 輥。在混合顯影系統中,以具有預定電荷量(Q/S)的調色劑來涂敷顯影輥,以使得上述傳送 偏置所生成的電勢差AV得以填充在傳送輥與顯影輥之間。在此情況下,存在這樣的關系: AV和待涂敷的每單位面積的調色劑的電荷量Q/S彼此成比例。封油所謂封油就是將產品在噴油過程中產品邊緣的位置、噴不到油的地方進行人工補油,補油過程中產品的金屬部位不可有外露現象,否則經過蝕刻后將會產生不良品,補油完成后再對產品進行烘干。此外,Q/S是與每單位面積 的涂層有關的調色劑的質量(Μ/S)和調色劑的每單位質量的電荷量(Q/M)的乘積。

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